CT-PF
Filtre à particules
Propre
Respect des limites d’émission pour les particules de 20 mg/Nm3 (TA-Luft)
Sécurisé
Élimination sécurisée des particules de déchets grâce au sac collecteur de poussières inclus
Sans maintenance
Nettoyage automatique des éléments filtrants pendant le fonctionnement sans interruption du procédé
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Semi-conducteur
-
LPCVD / Diffusion
-
PECVD
-
Attaque à l’oxyde
Accessoires
- Sac à poussières
- Élément filtrant