CT-PF
Filtro di particelle
Pulizia
Rispetto dei limiti di emissione per 20 mg/Nm3 di particolato (TA-Luft)
Sicurezza
Smaltimento sicuro dei rifiuti particolati grazie al sacco di raccolta della polvere chiuso
Senza manutenzione
Pulizia automatica degli elementi di filtraggio durante il funzionamento senza interruzione del processo
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Semiconduttore
-
LPCVD/diffusione
-
PECVD
-
Mordenzatura con ossido
Accessori
- Sacco per polvere
- Elemento di filtraggio