ATH 4506 M/MT
Pompe per vuoto turbomolecolari
Temperatura e flusso elevati
Ampia gamma di lavorazioni, elevata resistenza alla corrosione
Autodiagnosi
Sensore integrato per diagnosi delle prestazioni, ottimizzazioni della manutenzione e comunicazioni esterne
Economicità
Gestione ottimizzata della temperatura, basso consumo acqua di raffreddamento e potenza, basso costo di proprietà
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Display
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Deposizione fisica in fase di vapore (PVD)
Semiconduttore
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LPCVD/diffusione
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PVD
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Ispezione e metrologia
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Etching di Si policristallino
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Deposizione leggera
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Impianto ionico
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PECVD
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Litografia
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Etching di metallo e dielettrici high K
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Mordenzatura con ossido
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Blocco carico e trasferimento
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Cobalto, WCVD, TiN e TDMAT
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ALD
Rivestimento a film sottile
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Rivestimento ottico
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Rivestimento decorativo
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Rivestimento protettivo antiusura
Accessori
- Valvola di lavaggio con gas barriera di protezione
- Valvola acqua di raffreddamento
- Controllo remoto portatile
- Filtro protettivo per flangia di ingresso
- Kit di montaggio
- Flange di ingresso: VG350 o VG400
- Flange di scarico: DN40 o DN50
- Diverse opzioni di riscaldamento
- Lavaggio intermedio supplementare per processi difficili
- Sensore di temperatura rotore
- Sensore presenza lavaggio
- Potenza in ingresso: 200, 440 o 480 VCA