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Svizzera

BC 0101 G

Pompa per vuoto a vite a secco

Prestazioni elevate

Design della vite avanzato, struttura a forma di campana, viti brevettate con bilanciamento automatico, eccellenti proprietà di funzionamento, particolarmente indicate per operazioni in compartimenti di carico e camere di trasferimento, metrologia, litografia, deposizione fisica in fase di vapore e ricottura termica rapida

Efficienza

Variatore di velocità intelligente, basso costo di proprietà, manutenzione minima, alta produttività, raffreddamento ad acqua diretto

Compattezza

Design perfettamente adattabile, motore a rotore immerso montato direttamente, pannello di controllo integrato

Specifiche tecniche

Settori e applicazioni

Semiconduttore
  • Strippaggio/incenerimento
  • Etching di Si policristallino
  • Impianto ionico
  • Mordenzatura con ossido
  • Cobalto, WCVD, TiN e TDMAT