BC 0101 G
Pompa per vuoto a vite a secco
Prestazioni elevate
Design della vite avanzato, struttura a forma di campana, viti brevettate con bilanciamento automatico, eccellenti proprietà di funzionamento, particolarmente indicate per operazioni in compartimenti di carico e camere di trasferimento, metrologia, litografia, deposizione fisica in fase di vapore e ricottura termica rapida
Efficienza
Variatore di velocità intelligente, basso costo di proprietà, manutenzione minima, alta produttività, raffreddamento ad acqua diretto
Compattezza
Design perfettamente adattabile, motore a rotore immerso montato direttamente, pannello di controllo integrato
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
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Strippaggio/incenerimento
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Etching di Si policristallino
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Impianto ionico
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Mordenzatura con ossido
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Cobalto, WCVD, TiN e TDMAT