CT-TW-H
Ibrido umido-termico
Flessibilità
Progettazione personalizzabile per soddisfare specifici requisiti del processo
Facile manutenzione
Accesso rilevante per l'assistenza solo sul lato frontale, smontaggio in meno di un minuto, bassi costi totali di proprietà grazie al minor numero di pezzi soggetti a usura
Efficienza
Sistema di trattamento del gas di scarto con riscaldamento elettrico, con scrubber a umido integrato, aumenta la temperatura di combustione tramite iniezione di idrogeno per distruggere i gas PFC e altri gas
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Semiconduttore
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LPCVD/diffusione
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PECVD
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Mordenzatura con ossido
Accessori
- Camicia di riscaldamento
- Riscaldamento N₂ per l'entrata del gas di scarto
- Kit ventilatore per uscita del gas