Flexibel
Anpassbares Design für spezifische Prozessanforderungen
Einfache Wartung
Wartungsrelevanter Zugang nur an Vorderseite, Demontage in weniger als einer Minute, niedrige Gesamtbetriebskosten dank weniger Verschleißteilen
Effizient
Elektrisch beheiztes Abgasreinigungssystem mit integriertem Nasswäscher, erhöht die Verbrennungstemperatur durch Wasserstoffeinspritzung zur Zerstörung von PFC und anderen Gasen
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Halbleiter
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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PECVD
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Oxid-Ätzen
Zubehör
- Heizmantel
- N₂-Heizung für Abgaseintritt
- Lüftersatz für Gasaustritt