BD 0100–0600 A
Pompe per vuoto roots multistadio
Flessibilità
Tempo di svuotamento della pompa più breve del settore per camere di carico
Efficienza
Consumo di energia estremamente basso, manutenzione minima, alta produttività
Compattezza
Dimensioni eccezionalmente ridotte e peso contenuto
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
R&D
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Ricerca fotonica
Semiconduttore
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PVD
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Ispezione e metrologia
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Impianto ionico
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Litografia
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Blocco carico e trasferimento
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Ricottura
Rivestimento a film sottile
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Rivestimento in laboratorio