TORRI BD 0100–0600 A
Mehrstufige Roots-Vakuumpumpen
Flexibel
Kürzeste Evakuierungszeit für Load-Lock-Kammern
Effizient
Äußerst geringer Energieverbrauch, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit
Kompakt
Extrem klein und leicht
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
F&E
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Photonik-Forschung
Halbleiter
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PVD
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Inspektion & Messtechnik
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Ionenimplantation
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Lithografie
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Schleusen & Transfer
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Glühen
Dünnfilmbeschichtung
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Laborbeschichtung