ATH 500 M/MT
Bombas de vacío turbomoleculares
Silenciosas
Bajo nivel de vibración y ruido, perfectas para aplicaciones sensibles a las vibraciones en procesos de fabricación de semiconductores e instrumentos analíticos
Versátiles
Compatibles con una variedad de bombas primarias, versión MT con sistema de calefacción integrado para condiciones químicas exigentes, motores de corriente continua (CC) con control de frecuencia
Compactas
Tamaño más reducido, unidad de accionamiento integrada, instalación en cualquier orientación
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Medicina
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Diagnóstico por imágenes
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Acelerador médico
I+D
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Investigación fotónica
Semiconductores
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LPCVD / difusión
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PVD
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Inspección y metrología
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Si Poly etch
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Deposición ligera
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Implantación de iones
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PECVD
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Litografía
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Metal y grabado de alta K
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Grabado por óxido
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bloqueo de carga/de transferencia
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Cobalto, WCVD, TiN y TDMAT
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ALD
Accesorios
- Kit de instalación
- Válvula de agua de refrigeración
- Válvula de inyección de gas
- Kit de refrigeración por aire
- Controlador remoto
- Fuente de alimentación de 48 V CC
- Pantalla de protección de entrada
- Cable y bobina de la válvula
- Varios tipos de bridas de entrada
- Diversas interfaces de usuario
- Sistema de gestión de la temperatura para procesos corrosivos