ATH-M / ATP-M

La tecnología de rodamientos magnéticos de las series ATH-M y ATP-M utiliza electromagnetismo y un sofisticado sistema de control electrónico para mantener el rotor en suspensión y permitir la rotación sin contacto físico con el alojamiento de la bomba. Esto elimina la fricción, evitando el desgaste y haciendo que estas turbobombas estén libres de mantenimiento.

La fricción mecánica mínima también se traduce en un bajo nivel de vibración y ruido. Esto hace que las turbobombas ATH-M y ATP-M sean ideales para aplicaciones sensibles a las vibraciones en procesos de fabricación de semiconductores.

Adicionalmente, en caso de fallo de alimentación eléctrica, los rodamientos magnéticos reciben electricidad generada por la energía rotacional de la bomba. Esto permite puentear fácilmente los fallos de alimentación eléctrica durante varios minutos.

Los rotores de nuestras bombas de vacío turbomoleculares son accionados por motores de corriente continua (CC) con control de frecuencia. Pueden regular la velocidad de rotación de los rotores para alcanzar el nivel de vacío deseado, lo que ayuda a ahorrar energía y costes. En la última generación de bombas ATH-M y ATP-M, la unidad de accionamiento está integrada en la bomba, lo que garantiza un tamaño más reducido.

Algunas turbobombas ATH-M están equipadas con un sistema de calefacción integrado que ayuda a mantener el rendimiento de la bomba cuando está sometida a condiciones químicas exigentes. Esta característica es especialmente beneficiosa en aplicaciones como la deposición química de vapor (CVD), donde las reacciones químicas pueden producir subproductos que tienden a condensarse dentro del sistema de vacío. La calefacción integrada mantiene la bomba a una temperatura elevada constante, lo que reduce el riesgo de condensación y la acumulación de residuos.