Fabricación de semiconductores

Ofrecemos soluciones avanzadas de gestión de la contaminación que permiten a los fabricantes de semiconductores la monitorización de entornos de salas limpias en tiempo real. Al detectar los contaminantes con antelación, nuestras soluciones ayudan a minimizar la pérdida de rendimiento.

Nuestra gama de bombas de vacío en seco incluye bombas de vacío de tornillo y boosters de vacío multietapa.

En la industria de los semiconductores, los entornos de vacío deben cumplir estrictos estándares de sala limpia. Todos los componentes, incluidas las bombas de vacío, deben cumplir regulaciones industriales muy específicas.

El nivel de vacío en la industria de los semiconductores debe seleccionarse con precisión en función de la aplicación específica, el tipo de herramienta y la fórmula del proceso. Todos los proceso de deposición y grabado, como ALD, PECVD, CVD y PVD, requieren un nivel de vacío y una presión controlados, así como compatibilidad con varios gases de proceso.

Sí, Pfeiffer ofrece sistemas de vacío personalizados adaptados a las necesidades específicas de los fabricantes de semiconductores. Combinamos una amplia cartera de productos robustos y de alta eficiencia energética con una amplia experiencia técnica para diseñar soluciones en todos los regímenes de vacío, desde la presión atmosférica hasta el ultra vacío.

Las bombas de vacío desempeñan un papel fundamental en el mantenimiento de los entornos ultralimpios necesarios para los procesos de semiconductores, como la deposición, el grabado, la PVD, la litografía, el grabado por plasma y la ALD. Al garantizar una condición de vacío estable, ayudan a evitar la contaminación por partículas y permiten la alta precisión necesaria para la fabricación de galletas de silicio.

El vacío es esencial en todas las tecnologías de galletas, desde el silicio tradicional hasta materiales avanzados como el carburo de silicio (SiC) y el nitruro de galio (GaN).

Sí. Ofrecemos una amplia gama de productos semiconductores, como bombas de vacío y sistemas de eliminación de gases de proceso, diseñados con tecnologías avanzadas para minimizar el uso de energía, nitrógeno y agua. Nuestras soluciones están alineadas con los objetivos de sostenibilidad de la industria, lo que ayuda a los fabricantes a reducir su huella medioambiental sin comprometer el rendimiento.

Un amplio rango térmico permite a nuestras bombas de vacío en seco manejar eficazmente varios gases de proceso, desde precursores sensibles a temperaturas más bajas hasta gases condensables a temperaturas más altas. Esta capacidad ayuda a evitar la acumulación de material dentro del sistema de vacío, lo que garantiza un funcionamiento estable, una mayor fiabilidad y una vida útil prolongada del producto en aplicaciones exigentes de semiconductores.

Esta flexibilidad térmica se logra mediante componentes especializados integrados en nuestros productos. Póngase en contacto con nosotros para encontrar la mejor solución para sus requisitos del proceso específico.