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Soluciones innovadoras para un entorno limpio

Como líder tecnológico en el tratamiento de gases residuales industriales en el punto de uso, contribuimos a un futuro más limpio con nuestras soluciones integrales. Nuestros sistemas reducen eficazmente las emisiones nocivas, incluidos los gases PFC altamente persistentes como CF4, SF6y NF3, que tienen un potencial de calentamiento global extremo. Al destruir eficazmente estos gases peligrosos en su punto de uso, nuestros sistemas de eliminación de gas ayudan a crear un entorno más ecológico.

Nos hacemos cargo de la gestión de sus emisiones y adaptamos procesos probados, como la quema, la depuración, el filtrado o la absorción de contaminantes, a sus requisitos específicos.
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Tipos de sistemas de eliminación de gas

Tratamiento térmico de gases

Nuestros diversos sistemas de tratamiento térmico de gases combinan la combustión a alta temperatura de gases peligrosos en la cámara de reacción con un proceso avanzado de depuración húmeda para eliminar eficazmente los gases residuales y los contaminantes. Garantizan la destrucción eficaz de los compuestos peligrosos y perfluorados (PFC) a la vez que minimizan el impacto medioambiental.

Estos sistemas cumplen con las estrictas regulaciones sobre emisiones a través de un enfoque probado y sostenible, lo que los hace ideales para una variedad de industrias que requieren una eliminación de gases fiable, como las industrias química y de semiconductores, y también en la investigación y el desarrollo.

Tratamiento húmedo de gases

Nuestros sistemas de tratamiento húmedo de gases, también conocidos como depuradores húmedos, eliminan eficazmente los contaminantes, las partículas y los gases solubles de las corrientes de zonas de escape industriales. Mediante la absorción de líquidos y las reacciones químicas, estos sistemas de eliminación garantizan una alta eficiencia de retirada de gases ácidos, compuestos orgánicos volátiles (COV) y polvo.

Gracias a su menor consumo energético, el tratamiento húmedo de gases es una solución fiable y versátil para cumplir con las estrictas regulaciones medioambientales a la vez que se preserva la eficiencia operativa.

Absorbente de lecho seco

La innovadora tecnología de absorción de lecho seco de Pfeiffer elimina de forma segura los gases tóxicos y corrosivos mediante la quimioabsorción con un granulado especial. Esto convierte los gases en sólidos estables y no volátiles. Los productos químicos, ahora unidos permanentemente al granulado, pueden eliminarse de forma segura de acuerdo con las regulaciones locales.

Este método no requiere gas combustible ni agua y no genera residuos líquidos. Por lo tanto, ofrece una solución de gran eficiencia con pocos medios para el tratamiento de gases industriales, especialmente para la industria de semiconductores y en la investigación y el desarrollo.

Sistemas de filtrado

Nuestro filtro de partículas seco reduce al mínimo las emisiones de polvo fino. Este sistema se puede combinar con nuestro tratamiento térmico de gas para lograr la mejor eficiencia de retirada de partículas de su clase.

Dado que el filtro recoge el polvo en el punto de uso, antes del conducto de aire de escape, se reduce al mínimo la necesidad de limpiar manualmente la zona de escape aguas abajo. Esto reduce los costes de funcionamiento de la instalación.

Familia de productos
Tecnología
Medio
Gas de oxidación
CT-BW
quemador de gas
O2 o aire seco comprimido
CT-PW
antorcha de plasma
aire seco comprimido
CT-TW
dispositivo calefactor eléctrico
aire ambiente
CT-TW-H
dispositivo calefactor eléctrico, H2
aire ambiente
CT-W
agua
-
CT-D
granulado
-
CT-D-E
granulado
-
CT-D VLC
granulado
-
CT-PF
filtro
-

Aplicaciones

Los sistemas de eliminación de gas de Pfeiffer son esenciales para mantener un entorno de producción limpio y seguro, especialmente en la industria de los semiconductores. Desde el grabado, la deposición química de vapor (CVD), la epitaxia, la deposición de capa atómica (ALD), la implantación de iones y la deposición de películas finas hasta la litografía ultravioleta extrema (EUV), nuestras tecnologías avanzadas garantizan la retirada fiable de gases de proceso peligrosos justo en el punto de uso: tratamiento térmico de gases, tratamiento húmedo de gases, absorbente de lecho seco y sistemas de filtrado, o una combinación de estos.

Cada industria tiene requisitos y normas de seguridad únicos. Para descubrir la mejor solución de eliminación de gas para sus necesidades, póngase en contacto con nuestros expertos.

Servicios de eliminación de gas

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Garantizar la eficiencia y fiabilidad a largo plazo de sus sistemas de eliminación de gas es nuestra prioridad.

Desde la iinstalación y la puesta en marcha hasta el mantenimiento, las actualizaciones y las comprobaciones del sistema, nuestro equipo de expertos proporciona un soporte personalizado para mantener su equipo funcionando al máximo rendimiento.

También ofrecemos análisis de costes de funcionamiento, mediciones de gases mediante espectroscopia infrarroja por transformada de Fourier (FTIR), suministro de piezas de repuesto y servicios de eliminación para garantizar que su sistema siga siendo seguro, rentable y cumpla con la normativa.
Servicios de eliminación de gas

Diseñadas para su proceso: soluciones personalizadas de eliminación de gases

La amplia cartera de productos de eliminación de Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions incluye soluciones óptimas de tratamiento de gases residuales para cada instalación industrial.

Nuestros sistemas modulares desarrollados internamente nos permiten adaptar cada solución a sus requisitos específicos.
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Preguntas frecuentes

¿Qué es un sistema de eliminación de gas y cómo funciona?

Los sistemas de eliminación de gas eliminan los gases contaminantes peligrosos y de efecto invernadero generados durante los procesos de fabricación, como en la fabricación de semiconductores o en la manipulación de gases industriales. La limpieza de los gases residuales es esencial para garantizar que estos gases puedan liberarse de forma segura a la atmósfera sin causar daños a las personas, los animales o el medio ambiente. Debido a las diversas propiedades de los distintos gases residuales, se requieren diferentes tecnologías de tratamiento. Estos pueden incluir oxidación térmica, tratamiento húmedo, eliminación de lecho seco, filtrado de partículas o una combinación de ellas.

Húmedo térmico: combina la tecnología de tratamiento térmico y húmedo para eliminar una amplia variedad de gases residuales. Cambia la composición química de los gases de proceso nocivos mediante la oxidación térmica y disuelve los gases solubles en agua, así como los subproductos, en la etapa húmeda de aguas abajo.

Depurador húmedo: este proceso implica depurar los contaminantes nocivos solubles en agua en el gas de escape absorbiéndolos y convirtiéndolos en la fase líquida.

Absorbente de lecho seco: un absorbente de lecho seco es un sistema de eliminación de gas que elimina los gases residuales pasándolos a través de un lecho absorbente sólido, donde los contaminantes se unen química o físicamente. Este método trata eficazmente los gases de proceso nocivos, garantizando emisiones seguras y conformes con el medio ambiente. Una vez saturados, los absorbentes se sustituyen o regeneran para un funcionamiento continuo.

Sistemas de filtrado: el filtro de partículas reduce las emisiones de polvo fino con elementos filtrantes en seco. Esto le permite a usted limpiar eficazmente los caudales de aire de escape cargados de partículas, como los producidos durante los procesos de semiconductores propensos a generar partículas. Si es necesario, el filtro de partículas se puede instalar aguas abajo de nuestros sistemas térmicos de eliminación de gas.

¿Cuáles son las ventajas de la tecnología de eliminación de gases de Pfeiffer?

Los sistemas de eliminación de gas de Pfeiffer ofrecen una alta eficiencia, flexibilidad y rentabilidad, lo que los convierte en la elección ideal para la fabricación de semiconductores y otras industrias exigentes. Entre las ventajas claves se incluyen:

  • Duraderos: construidos con materiales de alta calidad, nuestros sistemas garantizan un rendimiento duradero y menores costes operativos y de posventa.
  • Flexibles: ofrecemos todas las principales tecnologías de eliminación, lo que permite una gran flexibilidad en la elección del sistema en función de las exigentes aplicaciones individuales.
  • Modulares: nuestros sistemas de eliminación combinan diferentes tecnologías para ofrecer soluciones a medida.
  • Seguros: las funciones de seguridad integradas, como los sensores de gas estándares, la dilución de N₂ de emergencia, las bypass y las opciones de respaldo, garantizan la máxima seguridad en caso de emergencia.

¿Cómo elijo el sistema de eliminación de gas adecuado para mi aplicación?

Tipo de gases de escape
Los distintos sistemas de eliminación de gas están diseñados para manejar tipos específicos de gases. Para los gases más comunes producidos en las industrias química y de los semiconductores, así como en la investigación y el desarrollo y otras industrias comparables, se recomiendan tecnologías de eliminación de gases residuales como se muestra en el siguiente gráfico.

Modo de funcionamiento específico del proceso
El funcionamiento de su proceso puede afectar a la idoneidad de una tecnología de eliminación de gases en particular. Una tecnología ideal para procesos de producción continuos puede no ser la más rentable para operaciones poco frecuentes, como en investigación y desarrollo. Mientras que otra opción puede ser la mejor para procesos de fabricación semicontinuos o interrupciones parciales del producto. Nuestros expertos estarán encantados de ayudarle a identificar la tecnología adecuada para su aplicación específica.

Requisitos específicos de las instalaciones
La infraestructura de sus instalaciones también puede influir en la elección de la tecnología más adecuada. Las diferentes tecnologías de eliminación de gases requieren diferentes dimensiones, por lo que se debe tener en cuenta el espacio disponible para la instalación del sistema de tratamiento de gases residuales. Además, el suministro de medios disponibles, como la electricidad y el nitrógeno, es otro factor importante, así como los requisitos adicionales específicos de la tecnología, como el oxígeno, el gas combustible y los fluidos.

Para encontrar el sistema de eliminación de gas adecuado, póngase en contacto con nuestros expertos.

¿Cómo ayudan los sistemas de eliminación de gas a la protección medioambiental?

Nos comprometemos a minimizar el impacto medioambiental de las emisiones de gases residuales a través de una avanzada tecnología de eliminación de gases. Nuestros sistemas reducen eficazmente las emisiones nocivas, incluidos los gases PFC altamente persistentes como CF4, SF6y NF3, que tienen un potencial de calentamiento global extremo. Al limpiar estos gases de forma eficiente en el punto de uso, nuestros sistemas de eliminación de gas ayudan a proteger el clima y a reducir las emisiones industriales.

Nuestras soluciones de reducción cumplen con todas las normas de seguridad importantes y garantizan el cumplimiento de las estrictas leyes de calidad del aire, incluida la regulación alemana TA-Luft. Además, nuestras certificaciones ISO 14001 e ISO 9001 reflejan nuestro compromiso con la sostenibilidad industrial y la producción de alta calidad.

Al combinar tecnología de vanguardia con un enfoque en la sostenibilidad, ofrecemos soluciones que aportan beneficios tanto a su eficiencia operativa como a su huella medioambiental.

¿Pfeiffer también proporciona una planificación personalizada para las soluciones de eliminación de gases?

Cada instalación tiene requisitos únicos, por lo que los sistemas de eliminación de gas de Pfeiffer cuentan con un diseño modular que se puede personalizar para satisfacer sus necesidades específicas de tratamiento de gases residuales. Trabajamos en estrecha colaboración con usted para desarrollar una solución eficiente, rentable y sostenible adaptada a su proceso y aplicación.

Como proveedor de servicios completos, garantizamos una planificación detallada del proyecto, desde la consulta inicial hasta la puesta en marcha, y seguimos ofreciéndole un servicio posventa y un soporte integrales para mantener su sistema funcionando al máximo rendimiento.

Soluciones personalizadas de eliminación de gases

¿Qué hace que Pfeiffer sea líder en innovación en la eliminación de gases?

En Pfeiffer, la innovación es el núcleo de todos nuestros sistemas de eliminación de gas. Como líder tecnológico mundial y proveedor integral de tecnologías de eliminación, proporcionamos las soluciones más avanzadas y eficientes para estándares industriales más limpios y sostenibles, especialmente en la fabricación de semiconductores.

Nuestro laboratorio de investigación interno nos permite desarrollar continuamente tecnologías medioambientales de vanguardia. Además, colaboramos activamente con universidades e institutos de investigación, ofreciendo soporte al desarrollo de nuevos procesos de fabricación garantizando una eliminación de gases segura y conforme.