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OmniDetect는 추적 가스를 사용한 정밀 누설 테스트를 위한 독립형 검사 스테이션입니다. 출처: Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, 신뢰할 수 있는 누출 검출을 위한 OmniDetect 검사 스테이션 도입

글로벌 Busch Group의 계열사인 Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions가 새로운 OmniDetect 독립형 검사 스테이션을 선보입니다. 이 솔루션은 완전 자동식으로 구성되었으며, 추적 가스를 이용한 정밀 누설 테스트를 할 수 있습니다.

반도체 제조, 산업 어플리케이션 및 R&D 환경에서 사용하도록 설계된 OmniDetect는 고성능, 짧은 주기 시간 및 정밀한 결과를 모두 컴팩트/소형 맞춤식 시스템 내에서 제공합니다.

OmniDetect는 최대 1 · 10 -8 mbar · l/s의 낮은 검출 한계를 달성하고 정확하고 반복 가능한 누설 테스트 결과를 위한 완전 자동 측정 공정을 보장합니다. 통합 터치 디스플레이를 갖춘 전용 콘트롤 캐비닛 덕분에 직관적인 작동이 가능하여 사용자는 완전 자동의 측정 공정을 시작하거나 시스템 개별 제어를 위한 진공 계획에 액세스할 수 있습니다.

다양한 누설 테스트 요건을 충족하는 모듈식 시스템

OmniDetect에는 최소 3개의 진공 펌프가 장착되어 있습니다. 2개는 진공 챔버 및 검사 대상물의 배기 전용이며 하나는 통합 누출 감지기의 보조 펌프 역할을 합니다.

고객은 공정 요구 사항에 따라 두 가지 진공 기술 중에서 선택할 수 있습니다. 에너지 효율적 건조 스크롤 진공펌프는 깨끗한 진공 생성 및 조용한 작동을 가능하게 해주는 반면, 견고한 유회전식 로터리 베인 진공 펌프는 높은 흡입 용량 및 신뢰할 수 있는 성능을 제공합니다.

이 시스템은 모듈식이며 필요할 경우 업그레이드하고 추가 진공 펌프를 장착할 수 있어 고객이 주기 시간 요건을 충족하거나 챔버 배기 속도를 높이거나 측정 속도를 높일 수 있습니다. 이 모듈식 설계 덕분에 특정 누설 테스트 작업에 맞는 정밀한 구성을 지원하며, 자동차 부품, 열교환기, 센서 또는 전기 모터 등 매우 정확하고 재현 가능한 측정 결과를 보장합니다.

완벽한 통합을 위한 컴팩트 디자인

두 가지 챔버 사이즈(DN 300 및 DN 500)를 사용할 수 있어 사용자가 다양한 사이즈의 물체를 검사할 수 있습니다.

OmniDetect는 작은 설치 공간 덕분에 기존 생산 라인에 쉽게 통합할 수 있습니다. 장치 하단의 전용 슬롯은 지게차로 운반할 때 사용할 수 있습니다. 진공 펌프 등의 모든 시스템 부품은 장치 전면 또는 후면에서 접근할 수 있어 유지보수에 용이합니다. OmniDetect는 유연하게 정밀한 측정 결과와 다양한 누설 테스트 요건에 적응할 수 있는 기능을 결합합니다.