터보 진공 펌프는 보조 펌프와 결합하여 10-11 hPa(mbar)까지의 매우 높은 진공 레벨을 달성하는 데 사용되는 고속 진공 펌프입니다. 오일프리 및 매우 에너지 효율적입니다. 터보 펌프는 플라즈마 에칭, 표면 분석 및 코팅 기술과 같은 까다로운 응용 분야에서 활용됩니다.
터보 진공 펌프는 보조 펌프와 결합하여 10-11 hPa(mbar)까지의 매우 높은 진공 레벨을 달성하는 데 사용되는 고속 진공 펌프입니다. 오일프리 및 매우 에너지 효율적입니다. 터보 펌프는 플라즈마 에칭, 표면 분석 및 코팅 기술과 같은 까다로운 응용 분야에서 활용됩니다.
