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Vakuumpumpen

Entdecken Sie unser breites Angebot an Pumpen für die Vakuumerzeugung


Von Grob- bis Ultrahochvakuum: Wir bieten eine vielfältige Auswahl an zuverlässigen und leistungsstarken Vakuumpumpen. Erfahren Sie mehr über unsere Produkte und Lösungen für zahlreiche Anwendungen in der Halbleiterbranche, in der Industrie sowie in Forschung & Entwicklung.

Produktfinder

Turbomolekular-Vakuumpumpen

Turbomolekular-Vakuumpumpen sind Hochgeschwindigkeits-Vakuumpumpen, die in Kombination mit Vorpumpen extrem hohes Vakuum von bis zu 10-11 hPa (mbar) erreichen. Sie sind ölfrei und besonders energieeffizient. Turbopumpen werden in anspruchsvollen Anwendungen wie Plasmaätzen, Oberflächenanalyse und Beschichtung eingesetzt.
  • turbopumps_stage

    Turbopumpen mit Hybrid- oder Magnetlagerung

    HiPace
  • turbo_vacuum_pump_splitflow_1

    Modulare Turbopumpen, auf Kundenanforderungen zugeschnitten

    SplitFlow
  • ath_m_turbopumps

    Turbopumpen mit 5-Achsen-Magnetlager

    ATH-M / ATP-M
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      Turbopumpen mit Hybrid- oder Magnetlagerung

      HiPace
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      Modulare Turbopumpen, auf Kundenanforderungen zugeschnitten

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      Turbopumpen mit 5-Achsen-Magnetlager

      ATH-M / ATP-M

Turbomolekular-Vakuumpumpen

Turbomolekular-Vakuumpumpen sind Hochgeschwindigkeits-Vakuumpumpen, die in Kombination mit Vorpumpen extrem hohes Vakuum von bis zu 10-11 hPa (mbar) erreichen. Sie sind ölfrei und besonders energieeffizient. Turbopumpen werden in anspruchsvollen Anwendungen wie Plasmaätzen, Oberflächenanalyse und Beschichtung eingesetzt.
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    Turbopumpen mit Hybrid- oder Magnetlagerung

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Vakuum-Booster

In Kombination mit geeigneten Vorpumpen bieten ölfreie Vakuum-Booster eine robuste und zuverlässige Lösung für eine schnelle Evakuierung. Sie sind flexibel einsetzbar und für viele Anwendungen individuell anpassbar.
  • booster_vacuum_pumps_hilobe_1

    Intelligente und flexible Vakuum-Booster

    HiLobe
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      Intelligente und flexible Vakuum-Booster

      HiLobe

Vakuum-Booster

In Kombination mit geeigneten Vorpumpen bieten ölfreie Vakuum-Booster eine robuste und zuverlässige Lösung für eine schnelle Evakuierung. Sie sind flexibel einsetzbar und für viele Anwendungen individuell anpassbar.
  • booster_vacuum_pumps_hilobe_1

    Intelligente und flexible Vakuum-Booster

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      Intelligente und flexible Vakuum-Booster

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Membran-Vakuumpumpen

Membran-Vakuumpumpen bieten trockene Vakuumerzeugung und sind daher ideal für Anwendungen geeignet, die eine ölfreie Umgebung erfordern. Ihr leiser Betrieb und ihre kompakte Bauweise machen sie ideal für den Einsatz in medizinischen Geräten, Laborausrüstung und analytischen Anwendungen.
  • diaphragm_pumps_mvp_neo

    Kompakte und trockene Membran-Vakuumpumpen

    MVP
    • diaphragm_pumps_mvp_neo

      Kompakte und trockene Membran-Vakuumpumpen

      MVP

Membran-Vakuumpumpen

Membran-Vakuumpumpen bieten trockene Vakuumerzeugung und sind daher ideal für Anwendungen geeignet, die eine ölfreie Umgebung erfordern. Ihr leiser Betrieb und ihre kompakte Bauweise machen sie ideal für den Einsatz in medizinischen Geräten, Laborausrüstung und analytischen Anwendungen.
  • diaphragm_pumps_mvp_neo

    Kompakte und trockene Membran-Vakuumpumpen

    MVP
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      Kompakte und trockene Membran-Vakuumpumpen

      MVP

Mehrstufige Roots-Vakuumpumpen

Unsere mehrstufigen Roots-Vakuumpumpen arbeiten ohne Schmiermittel oder Dichtungsmaterialien und gewährleisten so eine partikelfreie, hochzuverlässige und dauerhafte Leistung. Ihr mehrstufiges Design ermöglicht den Betrieb gegen Atmosphärendruck.
  • multi_stage_roots_vacuum_pump_acp_90

    Flexible und zuverlässige mehrstufige Roots-Vakuumpumpen

    ACP
  • Mehrstufige Roots-Vakuumpumpe A 100 L

    Kompakte mehrstufige Roots-Vakuumpumpen

    A 100/200 L
  • ultidry

    Flexible und energieeffiziente mehrstufige Roots-Vakuumpumpen

    UltiDry
  • a4_series

    Energieeffiziente trockene, mehrstufige Roots-Vakuumpumpe

    A4
  • multi_stage_roots_vacuum_pumps_torri_bd_2

    Energieeffiziente mehrstufige Roots-Vakuumpumpe

    TORRI
    • multi_stage_roots_vacuum_pump_acp_90

      Flexible und zuverlässige mehrstufige Roots-Vakuumpumpen

      ACP
    • Mehrstufige Roots-Vakuumpumpe A 100 L

      Kompakte mehrstufige Roots-Vakuumpumpen

      A 100/200 L
    • ultidry

      Flexible und energieeffiziente mehrstufige Roots-Vakuumpumpen

      UltiDry
    • a4_series

      Energieeffiziente trockene, mehrstufige Roots-Vakuumpumpe

      A4
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      Energieeffiziente mehrstufige Roots-Vakuumpumpe

      TORRI

Mehrstufige Roots-Vakuumpumpen

Unsere mehrstufigen Roots-Vakuumpumpen arbeiten ohne Schmiermittel oder Dichtungsmaterialien und gewährleisten so eine partikelfreie, hochzuverlässige und dauerhafte Leistung. Ihr mehrstufiges Design ermöglicht den Betrieb gegen Atmosphärendruck.
  • multi_stage_roots_vacuum_pump_acp_90

    Flexible und zuverlässige mehrstufige Roots-Vakuumpumpen

    ACP
  • Mehrstufige Roots-Vakuumpumpe A 100 L

    Kompakte mehrstufige Roots-Vakuumpumpen

    A 100/200 L
  • ultidry

    Flexible und energieeffiziente mehrstufige Roots-Vakuumpumpen

    UltiDry
  • a4_series

    Energieeffiziente trockene, mehrstufige Roots-Vakuumpumpe

    A4
  • multi_stage_roots_vacuum_pumps_torri_bd_2

    Energieeffiziente mehrstufige Roots-Vakuumpumpe

    TORRI
    • multi_stage_roots_vacuum_pump_acp_90

      Flexible und zuverlässige mehrstufige Roots-Vakuumpumpen

      ACP
    • Mehrstufige Roots-Vakuumpumpe A 100 L

      Kompakte mehrstufige Roots-Vakuumpumpen

      A 100/200 L
    • ultidry

      Flexible und energieeffiziente mehrstufige Roots-Vakuumpumpen

      UltiDry
    • a4_series

      Energieeffiziente trockene, mehrstufige Roots-Vakuumpumpe

      A4
    • multi_stage_roots_vacuum_pumps_torri_bd_2

      Energieeffiziente mehrstufige Roots-Vakuumpumpe

      TORRI

Drehschieber-Vakuumpumpen

Drehschieber-Vakuumpumpen sind Verdrängerpumpen, die eine zuverlässige Vakuumerzeugung in einer Vielzahl von Anwendungen ermöglichen. Pfeiffer bietet Hochleistungsmodelle, die für ihre Langlebigkeit und lange Standzeit bekannt sind.
  • rotary_vane_pump_duovane_1

    Zweistufige ölgeschmierte Drehschieber-Vakuumpumpen

    DuoVane
  • rotary_vane_pump_smartvane_1

    Einstufige ölgeschmierte Drehschieber-Vakuumpumpen für Laborumgebungen

    SmartVane
  • pweb_285_ba501landingpageimages_767x430

    Einstufige ölgeschmierte Drehschieber-Vakuumpumpen für anspruchsvolle industrielle Anwendungen

    BA 501
    • rotary_vane_pump_duovane_1

      Zweistufige ölgeschmierte Drehschieber-Vakuumpumpen

      DuoVane
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      Einstufige ölgeschmierte Drehschieber-Vakuumpumpen für Laborumgebungen

      SmartVane
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      Einstufige ölgeschmierte Drehschieber-Vakuumpumpen für anspruchsvolle industrielle Anwendungen

      BA 501

Drehschieber-Vakuumpumpen

Drehschieber-Vakuumpumpen sind Verdrängerpumpen, die eine zuverlässige Vakuumerzeugung in einer Vielzahl von Anwendungen ermöglichen. Pfeiffer bietet Hochleistungsmodelle, die für ihre Langlebigkeit und lange Standzeit bekannt sind.
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    Zweistufige ölgeschmierte Drehschieber-Vakuumpumpen

    DuoVane
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    Einstufige ölgeschmierte Drehschieber-Vakuumpumpen für Laborumgebungen

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    Einstufige ölgeschmierte Drehschieber-Vakuumpumpen für anspruchsvolle industrielle Anwendungen

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      Zweistufige ölgeschmierte Drehschieber-Vakuumpumpen

      DuoVane
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      Einstufige ölgeschmierte Drehschieber-Vakuumpumpen für Laborumgebungen

      SmartVane
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      Einstufige ölgeschmierte Drehschieber-Vakuumpumpen für anspruchsvolle industrielle Anwendungen

      BA 501

Schrauben-Vakuumpumpen

Schrauben-Vakuumpumpen kombinieren ein hohes Saugvermögen mit einem robusten, ölfreien Design und eignen sich daher ideal für eine Vielzahl industrieller Anwendungen – von der Metallurgie bis zur Gefriertrocknung. Sie sind effektiv, zuverlässig und liefern eine gleichbleibend hohe Leistung.
  • screw_pumps_cobra_semicon_1

    Trockene Schrauben-Vakuumpumpen für die Halbleiterindustrie

    COBRA Semicon
    • screw_pumps_cobra_semicon_1

      Trockene Schrauben-Vakuumpumpen für die Halbleiterindustrie

      COBRA Semicon

Schrauben-Vakuumpumpen

Schrauben-Vakuumpumpen kombinieren ein hohes Saugvermögen mit einem robusten, ölfreien Design und eignen sich daher ideal für eine Vielzahl industrieller Anwendungen – von der Metallurgie bis zur Gefriertrocknung. Sie sind effektiv, zuverlässig und liefern eine gleichbleibend hohe Leistung.
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    Trockene Schrauben-Vakuumpumpen für die Halbleiterindustrie

    COBRA Semicon
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      Trockene Schrauben-Vakuumpumpen für die Halbleiterindustrie

      COBRA Semicon

Scroll-Vakuumpumpen

Scroll-Vakuumpumpen bieten hohe Leistung bei niedrigem Geräuschpegel und sind daher ideal für Labore, die Halbleiterproduktion und die Vakuumtrocknung. Ihr ölfreies Design gewährleistet einen sauberen Betrieb und hohe Effizienz.
  • scroll_pump_hiscroll_1

    Kompakte und ölfreie Scroll-Vakuumpumpen

    HiScroll
    • scroll_pump_hiscroll_1

      Kompakte und ölfreie Scroll-Vakuumpumpen

      HiScroll

Scroll-Vakuumpumpen

Scroll-Vakuumpumpen bieten hohe Leistung bei niedrigem Geräuschpegel und sind daher ideal für Labore, die Halbleiterproduktion und die Vakuumtrocknung. Ihr ölfreies Design gewährleistet einen sauberen Betrieb und hohe Effizienz.
  • scroll_pump_hiscroll_1

    Kompakte und ölfreie Scroll-Vakuumpumpen

    HiScroll
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      Kompakte und ölfreie Scroll-Vakuumpumpen

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