Von Grobvakuum- bis Ultrahochvakuumanwendungen

Innovative Technologie für alle Vakuumniveaus.

Vakuumtechnologie für Ihre Anwendung

Helium-Lecksuche (Sprühen)

Präzise Helium-Lecksuche gewährleistet die Integrität von Vakuumsystemen für einen sicheren und effizienten Betrieb.
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Erzeugung von Ultrahochvakuum (UHV)

UHV ermöglicht bahnbrechende Forschung und Produktion in ultrareinen, partikelfreien Umgebungen.

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Integritätsprüfung von Behälterverschlüssen (CCIT)

Vakuumbasiertes CCIT gewährleistet sterile, leckakge freie Verpackungen für pharmazeutische Sicherheit und Qualität.

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Restgasanalyse (RGA)

RGA in Vakuumsystemen identifiziert Verunreinigungen und gewährleistet so die Sauberkeit des Prozesses und den Schutz der Ausrüstung.

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Massenspektrometrie

Vakuum ermöglicht den exakten Ionentransport für präzise Massenanalyse in modernen Spektrometern.
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Wärmebehandlung/ Vakuumöfen

Die Vakuumwärmebehandlung ermöglicht eine gleichmäßige Materialumwandlung bei niedrigen Prozesstemperaturen und gewährleistet so eine gleichbleibende Qualität und Oberflächengüte.
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Beschleuniger

Vakuum in Beschleunigern gewährleistet die Stabilität des Teilchenstrahls für hochpräzise Forschung und Bildgebung.

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Lecksuche in der Automobilindustrie, Luft- und Raumfahrt sowie Kälte-/Klimatechnik

Vakuumlecksuche gewährleistet Sicherheit und Effizienz in Hochleistungssystemen in der Automobil sowie Luft- und Raumfahrtindustrie.

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Elektronenmikroskopie

Vakuum ermöglicht streuungsfreien Elektronenfluss und liefert hochauflösende Bilder selbst kleinster Strukturen.

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Lithium-Ionen-Batterien

Vakuumprozesse verbessern die Batterieleistung, Reinheit und erhöhen die Sicherheit bei der Zellfertigung.

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Solarzellenproduktion

Hochvakuum gewährleistet kohlenstofffreie Umgebungen für eine effiziente und hochwertige Solarzellenproduktion.

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Wasserstoff-Brennstoffzellen

Vakuumtechnologie ermöglicht die sichere, leckagefreie Wasserstofflagerung und einen effizienten Brennstoffzellenbetrieb.

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Simulation von Weltraumbedingungen

Vakuumkammern simulieren den Weltraum für zuverlässige Tests Satelliten- und Raumfahrzeugleistung.

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EUV-Lithografie

Vakuum ist entscheidend für die präzise, partikelfreie EUV-Lithografie in der Halbleiterproduktion.

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Ätzen und Reinigen von Halbleitern

Vakuum ermöglicht präzises Ätzen und Reinigen für die Produktion von Halbleitern im Nanomaßstab.

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Airborne Molecular Contamination (AMC)

Eine der Hauptursachen für Wafer-Defekte, die zu Ertragsverlusten in Halbleiterfabriken führen.
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Dünnfilmbeschichtung

Vakuum bei der Dünnfilmbeschichtung für Halbleiter minimiert Verunreinigungen, gewährleistet Gleichmäßigkeit und ermöglicht eine präzise Kontrolle des Beschichtungsprozesses.
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Load-Lock- und Transferkammern

Vakuumlösungen für Schleusen- und Transferanwendungen.
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Ionenquelle, Strahlführung und Endstation

Die Herstellung eines Halbleiterbauteils ist ein hochkomplexer Prozess, der mehrere Stufen in einer Vakuumumgebung umfasst.
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CD-SEM

Die zunehmende Anzahl von Produktionsschritten und extrem kleine Geräteabmessungen machen die Waferinspektion und -messtechnik wichtiger denn je.
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3D-Druck

Vakuum verhindert Oxidation, verbessert die Materialqualität und steigert die Energieeffizienz, indem es höhere Energiedichten beim Schmelzen ermöglicht.
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Sterilisation

Sterilisation ist ein Prozess, bei dem verschiedene Arten von Mikroorganismen wie Pilze, Bakterien, Viren und Sporen abgetötet werden.
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Laborvakuum

Laborvakuum ermöglicht präzise, saubere und zuverlässige Bedingungen für wissenschaftliche Prozesse – von der Massenspektrometrie über die Sterilisation bis hin zur Gefriertrocknung.
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