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Vakuum für Wärmebehandlungsöfen

Vakuumöfen unterstützen wichtige Prozesse – von der Wärmebehandlung und Oberflächenmodifizierung bis hin zum Sintern und Hartlöten. Alle diese Prozesse erfordern eine präzise Steuerung von Temperatur und Atmosphäre, um definierte Materialeigenschaften und gleichbleibende Qualität zu sicherzustellen.

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So funktioniert die Vakuum-Wärmebehandlung

Jeder Prozess in der Vakuum-Wärmebehandlung stellt unterschiedliche Anforderungen an die eingesetzten Materialien und das Vakuumsystem, und es gibt eine große Bandbreite davon. Vom konventionellen Härten bis zum Plasmanitrieren, vom Sintern bis zum ausgeklügelten Hartlöten - für jedes Verfahren sind spezifische Aspekte zu berücksichtigen.

Bei der Wahl der richtigen Vakuumpumpe für die Wärmebehandlung kommt es auf mehr als nur das zu erreichende Vakuumniveau an. Es ist wichtig, wie die Eigenschaften der Vakuumpumpe sich unter Ihren spezifischen Prozessbedingungen auswirken.

  • Kann sie den Ausgasungen und Verunreinigungen standhalten?
  • Schafft sie es, schnell genug zu evakuieren, um Ihre Zykluszeiten zu realisieren?
  • Hält sie dauerhaft zyklische Temperaturschwankungen und raue Bedingungen aus?

Auswahlkriterien für Ihren Prozess

Vakuumsysteme für die Wärmebehandlung

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Vakuumsysteme sind für die Qualität und Effizienz der Wärmebehandlung von entscheidender Bedeutung, da sie die präzisen, sauberen und kontrollierten Bedingungen ermöglichen, die für eine zuverlässige Änderung der Stoffeigenschaften erforderlich sind.

Ihre Vakuumlösung sollte nicht nur auf Ihre Prozessanforderungen abgestimmt sein, sondern auch Ihren Prioritäten entsprechen – seien es Kosten, Sauberkeit, Energieeffizienz oder Langlebigkeit.
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Vakuumanwendungen

Vakuum ist mehr als nur die Abwesenheit von Luft – es ist ein Wegbereiter für Präzision, Reinheit und Qualität in jedem Wärmebehandlungsprozess.

Hochvakuum-Löten

Komplexe Baugruppen – wie Wärmetauscher oder Bauteile für die Luft- und Raumfahrt – werden durch Hartlöten unter Hochvakuum gefügt. Diese Methode kommt ohne Flussmittel aus und liefert eine verbesserte metallurgische Qualität, weil die Lötstellen sauber dadurch frei von Fehlstellen bleiben.

Vakuum erzeugt die saubere Atmosphäre, die für die Entgasung von Metalloberflächen, zur Verbesserung der Benetzbarkeit und Sicherstellen von lunkerfreie Verbindungen notwendig ist. Der Prozess erfordert ein Hochvakuum-Niveau im Bereich von 10⁻⁵ bis 10⁻⁶ hPa (mbar), kurze Evakuierungszeiten und eine enge Prozesssteuerung, um die Kondensation von Metalldampf auf kalten Oberflächen zu vermeiden. Außerdem ist besonders darauf zu achten, dass kein Öl zurückströmt, um Verunreinigungen - vor allem an den Fügestellen - zu verhindern.

Wenn die Vakuumqualität nachlässt, können Ausgasungen und Ölrückstände die Sauberkeit der Oberflächen beeinträchtigen und so zu Hohlräumen, Einschlüssen und geschwächten Verbindungen führen - was Nacharbeiten erforderlich macht oder eine Kontamination des Equipments verursacht.

Normalglühen

In der Wärmebehandlung wird Normalglühen verwendet, um die Kornstruktur von Metallen zu homogenisieren und innere Spannungen nach dem Schmieden oder Schweißen zu beseitigen, wodurch die mechanischen Eigenschaften allgemein verbessert werden.

Vakuum verringert die Oxidation der Oberfläche und sorgt für eine gleichmäßige Wärmeverteilung. Hierfür ist ein moderates Vakuumniveau von etwa 10⁻¹ bis 10⁻² hPa (mbar) erforderlich.

Bei nicht ausreichendem Vakuum können Oxidation, Ablagerungen oder Temperaturgefälle zu einer inkonsistenten Mikrostruktur und schlechten Oberflächenqualität führen.

Anlassen

Das Anlassen von gehärtetem Stahl dient dem Spannungsabbau und dazu, die Sprödigkeit zu verringern, was zu einer Verbesserung der Zähigkeit und Duktilität führt.

Vakuum schafft die Voraussetzungen für eine gleichmäßige Erwärmung, wodurch reproduzierbare mechanische Eigenschaften und oxidationsfreie Oberflächen erzielt werden. Hierzu sind niedrige Druckbereiche zwischen 10 und 10⁻³ hPa (mbar) sowie eine präzise Temperaturführung erforderlich, in der Regel zwischen 150 und 650 °C.

Bei unzureichendem Vakuum kann es durch ein ungleichmäßiges Anlassen zu Eigenspannungen, verringerter Zähigkeit, Verfärbungen oder einer Verschlechterung der mechanischen Eigenschaften kommen.

Härten

Härten dient der Erhöhung der Härte und Festigkeit von Stahlbauteilen, und erfolgt typischerweise durch Austenitisieren gefolgt von einer schnellen Abkühlung (Abschrecken).

Eine stabile Vakuumatmosphäre schafft gleichmäßige Erwärmungsbedingungen für eine kontrollierte Umwandlung des Gefüges und stellt zugleich eine saubere Prozessumgebung bereit, die vor allem während hoher Temperaturen eine Oxidation verhindert. Der Prozess erfordert üblicherweise ein Vakuumniveau von etwa 10⁻³ hPa (mbar) und Temperaturen von 800 bis 1000 °C sowie eine wirksame Abkühlrate.

Bei einer instabilen Vakuumumgebung steigt das Risiko von Verzug, unvollständiger Gefügeumwandlung oder Randschichtentkohlung, was zu einer Verringerung der Härte und Teilequalität verringern kann.

Niederdruckaufkohlen (LPC)

Niederdruckaufkohlen (Low Pressure Carburizing, LPC) erhöht die Oberflächenhärte und den Verschleißwiderstand von kohlenstoffarmem Stahl, indem bei niedrigem Druck Kohlenstoff in die Oberfläche diffundiert.

Durch Vakuum wird eine kontrollierte Atmosphäre für eine gezielte Kohlenstoffdiffusion aufrechterhalten, wodurch eine gleichmäßige Einsatzhärtungstiefe sichergestellt und unerwünschte Reaktionen vermieden werden. Dazu ist in der Regel ein Druckbereich von 1 bis 10⁻² hPa (mbar), eine genaue Temperaturregelung um 900 bis 1.050 °C und die Fähigkeit zum Bewältigen alternierender Gaszyklen (z. B. Acetylen, Propan) erforderlich.

Bei unzureichendem Vakuum kann der Prozess instabil werden, was zu längeren Zyklen, uneinheitlicher Einsatzhärtetiefe und dem Risiko von Oberflächenoxidation führt, was wiederum die Teilequalität und -härte beeinträchtigt.

Plasmanitrieren

Plasmanitrieren dient der Steigerung der Oberflächenhärte, des Verschleißwiderstands und des Korrosionsschutzes, indem Stickstoff mittels ionisiertem Plasma in die Oberfläche diffundiert wird.

Vakuum ermöglicht die Erzeugung von Plasma und sorgt für eine gleichmäßige Ionenenergie an der Bauteiloberfläche, was typischerweise ein Vakuumniveau von ~10⁻² bis 10⁻³ hPa (mbar), gepulste Gleichstrom- oder Hochfrequenzleistung und eine exakte Gaszufuhr mit Stickstoff-Wasserstoff-Gemischen erfordert.

Wenn das Vakuum instabil ist - oder ganz zusammenbricht - kann das Plasma ungleichmäßig werden oder erlöschen, was zu einer unvollständigen Nitrierung und damit zu einer Verminderung der Oberflächenqualität, der Adhäsion und des Verschleißwiderstands führt.

Sintern

In der Pulvermetallurgie wird Sintern für die Produktion dichter, komplexer Teile verwendet, indem Partikel durch Diffusion und partielles Schmelzen verbunden werden.

Während der Entbinderungsstufe entfernt Vakuum Bindemittel und Dämpfe aus dem Prozess, was zu einer sauberen Umgebung führt und erneute Ablagerung derselben verhindert; während der Sinterstufe sorgt es dafür, dass die Partikel bei hohen Temperaturen diffundieren und es während der Materialverdichtung nicht zu Oxidation kommt. Die Anforderungen dieser Schritte unterscheiden sich erheblich: Zum Entbindern sind ein hohes Saugvermögen und ein hoher Schutz vor Kondensation notwendig, während das Sintern ein stabiles Hochvakuum von etwa 10⁻⁴ hPa (mbar) erfordert.

Bei unzureichendem Vakuum können Bindemittel zurückbleiben, was zu brüchigen oder porösen Teilen führt, und die Anwesenheit von Luft während des Sinterns kann Oxidation, Sprödigkeit oder Oberflächenfehler verursachen.

Technologie von Pfeiffer für die Wärmebehandlung

Jeder Prozess bringt einzigartige Vakuumanforderungen mit sich: In einigen werden Kondensate oder klebrige Dämpfe erzeugt, in anderen wird Feinstaub freigesetzt oder absolute Sauberkeit benötigt. Diese Tabelle zeigt die Lösungen auf, die sich unter diesen unterschiedlichen Bedingungen in der Regel besonders gut eignen. So finden Sie die Vakuumausrüstung, die zu Ihrem Prozess passt, anstatt Ihren Prozess an die Ausrüstung anzupassen.

 
Sintern
Hartlöten
Wärmebehandlung
Elektronenstrahlschweißen
 
Vakuumpumpen
 
 
 
 
R5
BA 501
 
 
 
COBRA NC/NX
HiScroll
 
 
MINK MW
 
 
 
RANGU
 
 
HiPace
 
Vakuum-Booster
 
 
 
 
HiLobe
PANDA/PUMA
Vakuumsysteme

Erfahren Sie mehr über die Wärmebehandlung unter Vakuum

Was ist Vakuumwärmebehandlung?

Die Vakuumwärmebehandlung ist wie eine normale Wärmebehandlung – nur ganz ohne Luft (und Probleme). Bei der Vakuumwärmebehandlung werden Metalle in einer abgeschlossenen, sauerstofffreien Umgebung erwärmt, um ihre Härte, Festigkeit oder Stabilität zu verbessern, ohne dass es zu Oxidationen, Ablagerungen oder Verunreinigungen kommt. Das Ergebnis? Saubere, hochwertige Teile, die für den Einsatz bereit sind.

Erfahren Sie mehr in unserem Vacuum Technology Book

Warum ist Vakuum zum Erzielen qualitativ hochwertiger Ergebnisse bei der Wärmebehandlung von Metallen so wichtig?

Eine Vakuumumgebung ist in der Wärmebehandlung entscheidend, um eine gleichbleibende Qualität zu erzielen und die mechanischen Eigenschaften von Metalllegierungen zu verbessern. Ob beim Härten oder dem Abbau von Spannungen durch Glühen, die Kontrolle der Vakuumatmosphäre gewährleistet saubere, präzise Ergebnisse.

  • Das Vakuumniveau wirkt sich direkt darauf aus, wie Gase aus dem Ofen entfernt werden, und verhindert so Oxidation auf der Metalloberfläche.
  • Eine große Vielzahl von Wärmebehandlungen -von Härteverfahren bis hin zu Oberflächenveredelungen - ist auf stabile Vakuumbedingungen angewiesen, um optimale Resultate zu erzielen.
  • Die Heizkammer, die oft durch eine Graphitisolierung abgeschirmt wird, sorgt for die gleichförmige Temperaturverteilung zur gezielten Beeinflussung des Werkstoffgefüges beim Erwärmen des Materials.
  • Eine schnelle Abkühlung mit Stickstoff oder anderen Abschreckgasen unter Vakuum verbessert die Abkühlrate, die für die Beherrschung des Verschleißwiderstands und der Verzugsfreiheit entscheidend ist.
  • Der richtige Kühlprozess unter Vakuum bewahrt die Integrität vonStahl und anderen Metallen.


Die Wahl des passenden Ofens mit einem zuverlässigen Vakuumsystem ist der Schlüssel zur Sicherung der Qualität und zum Erreichen konsistenter, hochwertiger Ergebnisse.

Was ist ein Vakuumofen?

Ein Vakuumofen ist eine dichte Kammer, in der Metalle in einer kontrollierten, sauerstofffreien Umgebung wärmebehandelt werden. Vakuumpumpen entfernen die Luft, um Oxidation und Verunreinigungen zu verhindern, und ermöglichen gleichzeitig eine genaue Steuerung von Temperatur, Druck und Atmosphäre. Dies ist unverzichtbar für Prozesse, die saubere Oberflächen, konkrete Materialeigenschaften und wiederholbare Ergebnisse erfordern.

Welche verschiedenen Arten von Vakuumöfen gibt es?

Vakuumöfen werden für den jeweiligen Prozess gebaut. Immer. Es gibt kein Standardmodell, dennoch lassen sich einige gängige Typen und Varianten herausstellen:

  • Chargenöfen: bekannt für ihre flexible Einsetzbarkeit. Das Beladen, Erwärmen, Abschrecken und Entladen erfolgt in einer einzigen Kammer. Erhältlich in horizontaler oder vertikaler Ausführung, mit Graphit- oder metallischer Heizkammer, zugeschnitten auf Ihre Werkstoff- und Reinheitsanforderungen.
  • Durchlauföfen: ideal für die kontinuierliche Fertigung, einschließlich Bandöfen (z. B. für das Löten unter kontrollierter Atmosphäre). Oder als Ausführung mit mehreren Kammern für den hohen Durchsatz von Gleichteilen.
  • Geschlossene Abschrecköfen: Diese Öfen kombinieren die Wärmebehandlung in einer Kammer mit dem Abschrecken in Öl- oder Salzbädern. Sie werden häufig in atmosphärischen Systemen verwendet, kommen aber auch zum Einsatz, wenn sowohl eine Vakuumvorbehandlung als auch eine kontrollierte schnelle Abschreckung erforderlich ist.

Wichtigste Unterscheidungsmerkmale:

  • Beladerichtung: horizontal für externe Chargierung, vertikal für Präzision und maximalen Nutzraum.
  • Heizkammertyp: Graphit für thermische Effizienz, metallisch für hochreine Arbeiten unter Hoch- und Ultrahochvakuum.
  • Sonderausführungen: zielgerichtet für nur einen Prozess wie Aufkohlen, Nitrieren, Hartlöten oder Plasmabehandlungen optimiert – jeder solche Ofen ist auf eine spezifische Anwendung abgestimmt.

Welche Vorteile bietet das Vakuum-Hartlöten als Wärmebehandlungsmethode?

Streng genommen ist Hartlöten kein Wärmebehandlungsprozess, sondern ein Fügeverfahren. Da es sich jedoch um eine kontrollierte Erwärmung in einem Vakuumofen handelt, findet der Lötvorgang in derselben Umgebung statt. Das Hartlöten unter Vakuum bietet folgende Vorteile:

  • Starke, präzise Verbindungen: ideal für komplexe Baugruppen mit engen Toleranzen.
  • Minimaler Verzug: Gleichmäßiges Durchwärmen reduziert Spannungen und Verformungen beim Fügen.
  • Wiederholbarkeit: perfekt für anspruchsvolle Branchen wie Luft- und Raumfahrt, Medizin oder Elektronik.
  • Flussmittelfreie Fügestellen: kein lästiges Flussmittel erforderlich – das Vakuum hält sie sauber.
  • Oxidationsfreie Oberflächen: Die Abwesenheit von Sauerstoff bedeutet stets glänzende, saubere Teile.

Warum sollte ich für einen Prozess ein bestimmtes Pumpprinzip einem anderen vorziehen?

Denn nicht alle Anforderungen an Vakuum sind dieselben - ebenso wie Ihre Anforderungen an einen Prozess variieren können. In einigen Anwendungen werden Kondensate, Bindemittel oder Staub freigesetzt, was in der Folge oft robuste ölgeschmierte Vakuumpumpen oder tolerante Öldiffusionspumpen erfordert. Für andere wird eine saubere, ölfreie Umgebung benötigt, sodass trockene Schrauben-Vakuumpumpen oder Turbomolekular-Vakuumpumpen in Kombination mit trockenen Vorpumpen die bessere Wahl sind. Es kommt ganz darauf an, was Sie pumpen:

  • Unsauber
    Bevorzugen Sie ölgeschmierte Vakuumpumpen in Kombination mit robusten Vakuum-Boostern für ein problemloses Handling von Kondensaten, Dämpfen und Staub.
  • Sauber
    Verwenden Sie vorzugsweise trockene Schrauben-Vakuumpumpen in Kombination mit Vakuum-Boostern, um ein reines Vakuum bei geringerem Kontaminationsrisiko zu erhalten.
  • Hochrein oder empfindlich
    Wählen Sie Turbopumpen mit trockenen Vorpumpen. Diese Kombination minimiert die Öleinwirkung und gewährleistet saubere Hochvakuumbedingungen.
  • Großes Kammervolumen
    Abstufungen und Vakuum-Booster ergänzen. Wählen Sie ein höheres Gesamtsaugvermögen als unbedingt notwendig, um die Evakuierungszeit zu verkürzen.
  • Bedarf an richtig niedrigem Druck
    Es führt kein Weg daran vorbei: Sie benötigen eine Turbomolekularpumpe oder eine andere Hochvakuumpumpe zusätzlich zu Ihrer Kombination aus Vorpumpe und Vakuum-Booster.

Kurzum: Der Prozess legt die Vakuumpumpe fest. Immer.

Warum sollten Sie Pfeiffer zu Ihrem Partner für die Vakuum-Wärmebehandlung machen?

Pfeiffer deckt mehr als nur die Wärmebehandlung ab - wir bedienen die gesamte metallurgische Vakuumkette, von der Stahlentgasung am Anfang bis zur abschließenden funktionalen Beschichtung.

Wir bieten alle erforderlichen Vakuumlösungen aus einer Hand: Vakuumpumpen, Messgeräte, Lecksucher, Restgasanalysegeräte, Ventile, Komponenten – alle passend zu Ihrer Aufgabe ausgewählt und konfiguriert. Ein Partner, ein System. Vollständig auf Ihren Prozess zugeschnitten.

Dank unserer Erfahrung und unseres umfassenden Portfolios können wir Ofenbauer und -benutzer mit zuverlässiger Vakuumtechnologie, zugeschnittenen Lösungen und Anwendungswissen unterstützen.

Dabei haben wir stets Ihren Prozess im Blick - und sorgen dafür, dass Ihre Vakuumlösungen Fahrt für Fahrt leistungsfähig bleiben.

Werkzeuge für die Lecksuche und Restgasanalyse von Pfeiffer

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Vakuum unter Beobachtung

Für eine exakte Wärmebehandlung unter Vakuum braucht es mehr als nur passende Vakuumpumpen - es geht vielmehr darum, Ihr Vakuumsystem zu verstehen. Die Überwachung des Druckniveaus, die Erkennung von Undichtigkeiten und die Analyse der Gaszusammensetzung sichern stabile Prozesse, hohe Qualität und beugen bösen Überraschungen vor. Mit den richtigen Werkzeugen wie Messgeräten, Lecksuchern oder Analysatoren behalten Sie die Kontrolle über Ihr Vakuumniveau und Ihre Ergebnisse.
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Vakuum-Messgeräte

Behalten Sie Ihren Druck stets im Blick

Genaue Druckmessungen bilden die Grundlage für eine wirkungsvolle Vakuumregelung. Ob im Grob- oder Hochvakuum: Mit Echtzeit-Druckdaten liegen Sie immer innerhalb der Spezifikationen.

  • Full-Range-Messgeräte kombinieren Pirani- und Kaltkathoden-Sensoren für eine vollständige Abdeckung des Messbereichs von Grob- bis Hochvakuum.
  • Kapazitive Messgeräte liefern hochpräzise Absolutdruck-Messwerte, unabhängig von der Gasart - ideal für verfahrenskritische Messungen.
  • Das TPG 202 Neo ist ein tragbares Handmessgerät für schnelle Überprüfungen und mobile Anwendungen, perfekt für Wartungs- oder Diagnosezwecke geeignet.

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Lecksuche

Für dauerhaft dichte Systeme

Selbst ein bis ins Detail optimierter Ofen ist nur so gut wie seine Vakuumintegrität. Gerade bei hoher thermischer und mechanischer Beanspruchung sind regelmäßige Dichtheitsprüfungen unerlässlich, um die Prozesssicherheit aufrechtzuerhalten.

  • ASM 340: der universelle Helium-Lecksucher, ideal für routinemäßige und umfassende Systemprüfungen.
  • ASM 310: Mit nur 21 kg ein leichtes Kraftpaket, tragbar und dennoch mit vollem Funktionsumfang.
  • HeliSpray: ein kompaktes, nachfüllbares Helium-Sprühset, perfekt für die Lecksuche vor Ort.

Erfahren Sie mehr über das Helium-Sprühen

Restgasanalyse

Wissen, was drin ist

Ausgasungen, Verunreinigungen oder unerwartete Gase im Prozess?

Sehen Sie, was wirklich in Ihrem Vakuum steckt. Von Wasserdampf bis hin zu Kohlenwasserstoffen, unser PrismaPro Massenspektrometer ermöglicht Ihnen Einblicke in die Prozessatmosphäre und erlaubt Echtzeitanalysen sowie eine frühzeitige Erkennung von Abweichungen im Prozess.

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Vakuumwärmebehandlung in verschiedenen Branchen

Von Zahnrädern und Wellen in der Antriebstechnik bis hin zu Präzisionsteilen in der Luft- und Raumfahrt unterstützt die Vakuum-Wärmebehandlung kritische Anwendungen in den unterschiedlichsten Branchen. Sie sorgt für Funktionalität und Zuverlässigkeit in der Automobilindustrie, der Luft- und Raumfahrt sowie der Medizin – wo Materialien auch unter anspruchsvollen Bedingungen fest, stabil und rein sein müssen.
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Applikationsspezifische Vakuumlösungen

Auf Ihre Bedürfnisse zugeschnitten

Keine zwei Vakuumsysteme sind identisch, ebenso wenig wie die Belange derjenigen, die sie bauen oder verwenden. Deshalb liefern wir nicht einfach nur Produkte – wir bieten maßgeschneiderte Lösungen, die auf fundiertem Fachwissen basieren.

Ganz gleich, ob Sie als Ofenbauer komplexe Systeme konzipieren oder als Endkunde für die Prozessintegrität zuständig sind: Wir realisieren gemeinsam mit Ihnen die richtige Vakuumanlage für Ihre Anwendung.

Ihre Aufgaben, unser Know-how


  • Maßgeschneiderte Vakuumsysteme für jeden Prozess – vom Sintern bis zum Hartlöten.
  • Technische Unterstützung von der Projektierung bis zur Inbetriebnahme – und darüber hinaus.
  • Anwendungs-Expertise: Alles aus einer Hand, auf Ihr System ausgelegt - und nicht umgekehrt.


Wir betrachten jedes Projekt als den Anfang eines gemeinsamen Wegs. Mit bewährter Technologie und reaktionsfähigem Support unterstützen wir Sie dabei, Ihre Prozessherausforderungen zu meistern - zuverlässig und an Ihrer Seite.