- 빠른 시동 시간
- 컴팩트한 경량 설계
- 저소음 및 낮은 진동 레벨
- 최소한의 유지보수
- 부식성 응용 분야를 위한 특수 코팅 이용 가능
HiPace
터보 진공 펌프
HiPace 터보 진공 펌프는 고진공 및 초고진공 응용 분야를 위한 컴팩트 소형 솔루션입니다.
HiPace 터보 진공 펌프에 사용되는 하이브리드 또는 자기 베어링 시스템은 저소음 및 낮은 진동 레벨을 보장합니다. 또한 수소와 같은 가벼운 가스를 압축하거나 내부식성 코팅이 적용된 특수 HiPace 버전도 이용할 수 있습니다. 다양한 전용 버전으로 구성된 HiPace 펌프는 코팅, 반도체 제조 및 분석 공정의 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다.
HiPace
HiPace 시리즈의 장점
HiPace 터보 펌프의 혁신적인 로터 설계로 높은 흡입 용량과 높은 가스 처리량을 실현합니다. 이 진공 펌프는 하이브리드 또는 마그네틱 베어링으로 제공됩니다.
하이브리드 베어링 모델은 전진공 측의 세라믹 볼 베어링과 고진공 측의 영구 자석 베어링을 결합하여 견고하고 안정적인 설정을 보장합니다. 자기 부상식 버전에서 활성 자기 베어링은 전자석과 거리 센서를 사용하여 로터를 물리적 접촉 없이 부상시키고 회전시키며, 마모를 최소화합니다.
두 가지 베어링 유형은 내구성과 낮은 유지보수를 위해 설계되어 신뢰할 수 있는 펌프 성능을 보장합니다. 하이브리드 버전의 경우, 세라믹 볼 베어링과 사용 유체 저장소를 현장에서 30분 이내에 교체할 수 있어 고장 시간을 줄이고 생산성을 극대화할 수 있습니다.
HiPace 시리즈는 다양한 응용 분야 요구 사항에 맞는 다양한 모델로 구성되어 있으며, 그 중에는 시장 내 최소형 터보펌프인 HiPace 10 Neo가 포함되어 있습니다. 이 모델은 윤활유 공급 세라믹 볼 베어링이 장착된 기계식 베어링 시스템이 특징으로, 급격한 움직임이나 진동에 노출되어도 안정적인 작동을 보장합니다. 그리고 설치 면적이 작아 질량 분석, 전자 현미경 또는 휴대용 시스템에 사용되는 고도로 통합된 분석 기기에 이상적입니다.
HiPace는 특수 버전 덕분에 다양한 공정 요구 사항 적용이 가능합니다. 예를 들어, 초고진공 또는 과학 응용 분야에서 필수적인 수소와 같은 매우 가벼운 가스에 대한 탁월한 압축을 제공하는 홀벡 단계의 혁신적인 상호 연결이 장착되어 있습니다. 다른 모델에는 플라즈마 화학 표면 처리인 케플라 코팅 로터가 적용되어 코팅 및 반도체 제조의 까다로운 환경에서 향상된 내부식성을 제공합니다.