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COBRA BC 건식 스크류 진공펌프는 반도체 제조 작업, 특히 로드록과 이송 챔버 작업에 매우 적합합니다. 그 밖의 응용 분야로는 계측학, 미세가공기술, PVD(물리적 증착), RTA(급속 열처리 품림), 실리콘 에칭 등이 있습니다.

특허를 획득한 셀프 밸런싱 스크류 설계로 최저 진동 레벨 및 저소음 작동이 보장됩니다.

COBRA BC 진공 펌프의 스크류 로터는 틈이 생기지 않도록 일체형 주조로 제작됩니다. 이를 통해 공정 유체 또는 입자 유입이 불가능합니다. 따라서 부식과 침전물 생성이 방지됩니다.

COBRA BC 진공 펌프는 벨 형상의 캔틸레버 구조가 특징으로, 가변 피치 스크류가 장착된 트윈 로터는 모터 측에만 장착할 수 있습니다. 특화된 "플라잉 베어링" 설계 덕분에 흡입구 베어링이 필요하지 않습니다. 그러므로 유입된 물질이 베어링과 접촉하지 않습니다. 이를 통해 청정 진공 생성이 보장되고 유입된 물질이 완전히 회수될 수 있습니다.

COBRA BC 시리즈 진공 펌프는 효율적인 직결 수냉식을 활용합니다. 그러므로 펌프 본체 전체에서 온도가 균등하게 분포됩니다. 또한, 공정 중의 열 안정성도 보장됩니다.

완전 개방형 통신 프로토콜(Modbus TCP-IP)을 통해 모든 기능을 제어할 수 있습니다. 여기에는 유휴 모드와 가변 속도 구동이 포함됩니다. 어떤 특정 네트워크 프로토콜에도 표준 인터페이스 컴포넌트를 사용하여 통신 프로토콜을 쉽게 적용할 수 있습니다.

COBRA BC 시리즈는 직결식 캔드 모터 덕분에 매우 컴팩트합니다. 그리고 어디에나 설치가 가능한 설계 덕분에 기존 시스템에 쉽고 빠르게 장착할 수 있습니다.

COBRA DS 건식 스크류 진공펌프는 반도체 응용 분야, 특히 높은 수소 처리량이 요구되는 경우에 이상적인 진공 생성기입니다. 따라서 화학기상증착(CVD), 급속 열처리(RTP) 또는 원자층 증착(ALD)에 매우 적합합니다.

다양한 사이즈로 공급되는 COBRA DS 시리즈는 통합형 고성능 진공 부스터가 특징입니다. 보조 펌프와 진공 부스터의 이러한 조합은 향상된 흡입 용량과 최대 진공도를 달성합니다.

진공 펌프의 자체 균형 스크류 설계는 특허 받은 혁신적인 기술입니다. 이 기능은 우수한 분말 처리 능력과 높은 가동 시간을 보장합니다.

COBRA DS 진공 펌프의 스크류 로터는 일체형 주조로 제작되어 간극이 방지됩니다. 이를 통해 공정 유체 또는 입자 유입이 불가능합니다. 따라서 부식과 침전물 생성이 방지됩니다.

COBRA DS 시리즈 진공 펌프에서는 효과적인 간접 수냉식이 사용됩니다. 그 결과, 펌프 본체 전체에서 온도 분포가 제어됩니다. 언제라도 공정 변경에 대한 대응이 가능합니다.

COBRA DS는 어디에나 설치가 가능한 디자인으로 기존 시스템에 쉽고 빠르게 설치할 수 있습니다.