- 先进的螺杆设计
- 采用干式和非接触式工作原理
- 独特的“悬空轴承”设计
- 悬臂结构
- 紧凑的就地安装设计
- 直接水冷
- 开放的通信协议
COBRA Semicon
干式螺杆真空泵
COBRA Semicon 真空泵的工作原理基于我们最先进的螺杆技术。凭借其获得专利的自平衡螺杆，它们在半导体制造的效率和运行可靠性方面树立了新的标杆。
COBRA Semicon 真空泵兼具大气量与高蒸汽和颗粒耐受力， 因此，它们可以顺利抽取含颗粒的介质。无油和非接触式运行的工作原理可确保低维护需求、低运行成本及长使用寿命。
COBRA BC
适用于轻型至中型半导体应用的理想解决方案
COBRA BC 系列的优势
COBRA BC 干式螺杆真空泵非常适合半导体制造领域中的任务，尤其是在 load lock 腔和传送腔室中。此外，它还广泛应用于计量、光刻技术、物理气相沉积（PVD）、快速热退火（RTA）和硅基板刻蚀等诸多领域。
荣获专利的自平衡螺杆设计可确保尽可能低的振动水平和静音运行。
COBRA BC 真空泵的螺杆转子由一体式铸件制成，可避免间隙， 从而避免工艺液体或颗粒进入。因此，该系列产品可以防止受到腐蚀和出现沉积。
COBRA BC 真空泵配备钟形悬臂结构：带有变距螺杆的双转子仅安装于电机一侧。得益于独特的“悬空轴承”设计，不需要入口轴承。因此，泵送介质不会接触到轴承， 这样可以确保产生洁净真空，并可以回收泵送介质。
COBRA BC 系列真空泵采用出色的直接水冷方式， 由此可确保泵体均衡的温度分布， 亦可确保运行期间的热稳定性。
完全开放的通信协议（Modbus TCP-IP）可实现对所有功能的控制， 包括怠速模式和变速驱动装置。该通信协议可以使用标准接口组件轻松适用特定的网络协议。
直接安装的密闭式电机使 COBRA BC 系列的尺寸更加紧凑。凭借其就地安装设计，该系列产品可以被快速、轻松地加装到现有系统中。
COBRA DS
适用于严苛的半导体工艺的新一代干式真空泵
- 先进的螺杆设计
- 采用干式和非接触式工作原理
- 出色的粉末处理能力
- 高效的间接水冷
- 紧凑的就地安装设计
- 高抽氢速率
- 高效率电机
- 不同尺寸并集成罗茨泵可选
COBRA DS 系列的优势
COBRA DS 干式螺杆真空泵是专为要求严苛的半导体应用设计的理想真空发生器，尤其适用于需要高氢气流量的工艺。因此，它们非常适用于化学气相沉积（CVD）、快速热处理（RTP）或原子层沉积（ALD）等应用。
不同型号的 COBRA DS 系列产品均配备集成的高性能罗茨泵。前级泵和罗茨泵的组合使用提升了抽速和极限压力。
这款真空泵的自平衡螺杆设计是一项获得专利的创新技术。这一特性可确保出色的粉末处理能力和长正常运行时间。
COBRA DS 真空泵的螺杆转子由一体式铸件制成，可避免任何间隙， 从而避免工艺液体或颗粒进入。因此，该系列产品可以防止受到腐蚀和出现沉积。
COBRA DS 系列真空泵采用高效的间接水冷方式， 因此，可以控制整个泵体的温度分布， 并随时响应工艺变化。
凭借就地安装设计，COBRA DS 可以被快速、轻松地加装到现有系统中。
