고성능
고급 스크류 설계, 벨 형상 구조, 특허를 획득한 셀프 밸런싱 스크류, 우수한 작동 품질, 통합 진공 부스터, 저온 원자 층 증착 공정, 로드 록 및 트랜스퍼 챔버에서의 작업, 계측학, 미세가공기술, 물리적 증착, 고온 순간 열처리 및 에칭 공정(산화물, 실리콘 및 금속 등)에 매우 적합
효율성
낮은 소유 비용, 최소한의 유지보수, 긴 서비스 간격, 높은 가동 시간, 직접 수냉식
컴팩트
어디에나 설치 가능, 직결식 캔드 모터, 컴팩트한 베이스 프레임에 결합된 보조 펌프 및 진공 부스터
기술 사양
시장 & 어플리케이션
반도체
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스트리핑 / 애싱
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PVD
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Si Poly 에칭
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라이트 메탈 증착
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이온 이식
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금속 및 높은 K 에칭
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산화물 에칭
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코발트, WCVD, TiN 및 TDMAT
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풀림