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새로운 ATH 4506 M 터보분자 펌프. 출처: Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, 새로운 ATH 4506 M 터보 펌프 출시

글로벌 Busch Group 소속인 Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions는 ATH-M 시리즈 중 최대형 모델인 ATH 4506 M을 출시함으로써, 터보 진공 펌프 포트폴리오를 확장했습니다.

질소 흡입 용량이4,500 l/s에 이르는 이 새로운 터보 펌프는 반도체제조, 대면적 코팅은 물론, 우주 시뮬레이션을 위한 대형 진공 챔버 배기와 같이 높은 가스 처리량이 필요한 각종 응용 분야 공정에 적합합니다.

통합 컨트롤러로 플러그 앤 플레이 작동

ATH 4506 M에는 통합 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 그래서 외부 제어 장치를 설치할 필요가 없어, 설치가 간편하며 시스템 셋업에 요구되는 공간도 적습니다. 이 진공 펌프는 단 9분 만에 최대 회전 속도인 분당 23,500회에 도달하므로 생산 공정을 빠르게 시작할 수 있습니다. 비활성 기간에는 유휴 모드에 진입하여 전력 소비량을 낮춤으로써 에너지 효율적인 운영에도 기여합니다.

공정 요구에 맞는 온도 관리

공정 조건에 따라 서로 다른 사용 온도가 요구됩니다. 이러한 이유로 ATH 4506 M은 두 가지 버전으로 제공됩니다.

  • 대면적 코팅 등 추가 가열이 필요 없고 깨끗한 비부식성 분야에 적합한 비가열 버전.
  • 응축 및 입자 형성을 방지하기 위한 중간 정도의 가열이 필요한 반도체 제조 등 부식성 공정에 적합하도록 최대 90 °C의 온도 관리 시스템(TMS)를 갖춘 버전.

ATH 4506 M은 진공 펌프 온도를 공정에 맞춤으로써 펌프 내부의 응축 및 입자 축적을 최소화하고 내부 부품 마모를 줄이며 예기치 않은 고장 시간을 방지합니다. 이는 신뢰도 향상, 일관된 제품 품질 및 사용자의 총소유비용 절감으로 이어집니다.

상태 모니터링 및 디지털 통합

ATH 4506 M에는 온도, 퍼지 조건, 회전 속도, 축 이탈 움직임을 모니터링하는 내부 센서가 장착되어 있습니다. 이러한 측정을 통해 작업자가 진공 펌프 상태를 실시간으로 추적할 수 있으므로 이상 징후를 조기에 쉽게 감지할 수 있습니다. 이는 예기치 않은 고장 시간을 방지하고 예측적 유지보수를 지원하는 데 일조합니다. IoT 지원 진공 펌프이기 때문에 디지털 모니터링 시스템에 연결하여 자동화된 생산 환경에 통합할 수 있습니다.

IP54 보호 등급으로 진공 펌프가 분진과 비산되는 물로부터 안전하게 보호됩니다. 그래서 까다로운 산업 환경에서 탄력성이 높아졌으며 사용 수명도 길어졌습니다.