3.5 구성품과 피드스루

A진공 시스템은 한 개의 유닛을 형성하기 위하여 조립되어야 하는 많은 단일 구성품을 갖고 있습니다. 분리형 진공 밀봉 플랜지 연결을 사용하는 구성품은 배관 구성품이나 호스처 럼 직접 또는 진공 구성품을 통하여 연결할 수 있습니다. 사 용 가능한 많은 표준 구성품이 있는데, 이것들은 주로 스테인 레스강이나 알루미늄으로 만들어집니다. 금속 정션은 T-형 또는 교차형 팔꿈치 모양 파이프 구성품으로 만들 수 있고, 어댑터가 진공 플랜지에서 나사 또는 VCR 연결에 전이를 제 공하고, 감속기 또는 어댑터 조각들이 명목 직경 또는 플랜지 시스템의 변경을 가능하게 해줍니다.

장착 공간이 제한될 경우 최소한의 가능한 플랜지 연결을 설 치해야 합니다. 필요한 어댑터와 연결이 표준 구성품에서 실 현될 수 없을 경우 고객 구성품이 사용됩니다. 이 구성품은 특별한 길이의 완전한 니플로 시작해서 무척 복잡한 개별 특 수 솔루선으로 끝납니다.

3.5.1 호스와 신축성 커넥터

신축성 커넥터의 가장 단순한 형태는 플라스틱 호스입니다. 더 큰 명목 직경이 수축을 방지하기 위하여 새겨진 금속 나선 에 의해 강화됩니다. 그 끝은 호스 어댑터에 호스 클램프로 고정되어 있습니다. 플라스틱은 진공 상태에서 탈기체하기 때문에 이런 호스는 낮은 진공 및 중간 진공 어플리케이션에 만 사용해야 합니다. 1 · 10^-4 hPa 이상의 압력에서는 금속 호 스가 필수입니다. 금속 호스는 동심 샤프트의 형태로 벽이 얇 은 튜브에서 저온 형성되고, 동심 샤프트를 용접 밀봉하기 위 하여 플랜지 연결에 용접됩니다. 담금질된 파형 호스는 변형 후 담금질을 하여 응력이 줄어들어서 보관 기간이 더 짧습니 다. 하지만 변형은 더 저온 작업 및 변형의 정도에 의존하게 하고, 응력 제거 풀림을 생략합니다. 벽이 얇은 파형 호스는 무척 유연해서 변형이 쉽습니다.

파형 호스는 진공 상태에서 수축됩니다. 따라서 신축성 커넥 터는 유압식 요소처럼 행동할 수 있습니다. 축 방향 탄성률과 프로필의 유압식 횡단면에 따라 축방향 힘이 생성되는데, 이 는 플랜지 연결로 전이됩니다. 커다란 명목 직경은 거대한 인 장력을 생성하는데, 이는 시스템을 설계할 때 고려되어야 합 니다. 파형 호스가 주로 한 공간 속에서 두 개의 플랜지를 연 결하는 데에 사용되는 반면 스프링 벨로우즈는 진동의 방향 보상이나 흡수에 사용됩니다. 이들의 프로필은 오메가 파의 형태로 압축되어 있으므로 무척 유연합니다.

멤브레인 벨로우즈는 함께 용접된 개별 판으로 만들어집니 다. 짧은 설치 시간에 긴 축 방향 스트로크와 커다란 굽힘각 을 달성하는 것이 가능합니다. 판의 강성 때문에 측면 오프셋 은 S-모양 프로필을 형성하는 비교적 많은 멤브레인 쌍을 통 하여서만 가능합니다.

3.5.2 뷰포트

투시창은 공정 기간을 포함하여 진공실 내부 관찰에 기본적 으로 사용됩니다. 그러므로 해당 두께의 붕규산 유리가 일반 적으로 사용되고 탄성 중합체 실과 함께 투시 플랜지에 설치 됩니다(ISO-KF, ISO-K 및 ISO-F 뷰포트). UHV 어플리케이 션 및 고온인 경우, 유리는 금속화 및 납땜되고(용융 실리카 또는 사파이어 유리) 아니면 열 팽창을 보상하기 위하여 용접 립과 함께 용융됩니다(Kodial 유리). 이 유리는 투시 플랜지 의 용접 립에 용접 및 용접 밀봉됩니다. 장력을 최소화하려면 CF 뷰포트를 오직 담금질된 구리 실에 끼어 맞춰야 합니다. 또한 가열 및 냉각이 매끄러워야 하고 너무 빨라서는 안 됩니 다.

뷰포트가 전자기파의 전달에 사용될 경우 전송 범위와 광학 적 특징을 고려해야 합니다. 1인치 및 2인치 투시창에 FKM 개스킷을 가진 유리 홀더가 있어서 진공 플랜지에 광학 유리 를 설치할 수 있습니다. 뷰포트 셔터는 예를 들어 코팅 공정 동안 뷰포트의 요염을 방지하거나 줄입니다.

3.5.3 전기 피드스루

전기 피드스루 제작 시 중요한 요소는 사용할 전류 용량과 전 압 그리고 진공 기밀 및 온도 저항에 대하여 충족시켜야 할 요구조건입니다. 유기적 절연재가 있는 피드스루는 더 낮은 전압에서만 사용할 수 있습니다. 주형 수지 피드스루는 적당 한 전류 부하와 적당한 온도에 자주 사용됩니다. 절연 저항에 대해서는, 유리-금속 용단이 있는 피드스루가 전자 기기의 고 전압 및 약한 전류 피드스루에 적합합니다.

세라믹 절연이 있는 피드스루는 유리보다 더 큰 기계적 안정 성과 온도 저항을 제공합니다. 또한 세라믹(예: 알루미늄 산 화물)은 고전압에 적합한 절연 형태로도 제조될 수 있습니다. 이것은 세라믹 피드스루가 고전압 및 고성능 측면에서 유리 피드스루보다 더 뛰어난 이유입니다. 가장 엄격한 전기, 열 및 진공 기술 요구사항에 대해서는 견고한 금속-세라믹 연결 만을 고려해야 합니다.

일반적으로 더 높은 온도가 전기적 절연 효과를 줄이고 또 전 도체의 전류 용량을 줄인다는 사실을 고려해야 합니다. 달리 명시되지 않는 한 전기 데이터는 실온을 참조하십시오. 게다 가 최대 작동 전압은 1 · 10^-4 hPa 미만의 진공에 적용됩니다. 더 높은 압력에서는 전압 차가 큰 전도체들간의 작은 이간 거 리가 기체 방전과 플래시오버를 이끌 수 있습니다. 1 · 10^-3 hPa 사이의 취약한 압력 범위에서는 고전압 전도체들 사이에 적절한 이간 거리가 제공되어야 합니다. 그렇지 않으 면 이럴 경우에는 주형 수지로 채우거나 유리나 세라믹 파이 프로 만들어진 차폐를 사용하는 것이 유용할 수 있습니다.

전기 피드스루는 와이어 피드스루, 플러그가 한 개인 다중 피 드스루 또는 동축 커넥터가 있는 피드스루만큼 가용성이 있 습니다. 좁은 설치 장소에 높은 전압이나 전류 또는 많은 신 호 전압을 가진 전압을 전달하기 위한 특별한 변형들이 있습 니다.

3.5.4 기타 피드스루

열전대 피드스루는 낮은 열전자 전압을 전달하므로 사용되 는 열전대에 맞춰야 합니다. 열전대용 커넥터 쌍의 재료는 열 전기 전압의 열전기 중립 전달이 일어나도록 열전대의 재료 와 같아야 하거나 최소한 열전기적으로 비교 가능해야 합니 다. 탄성 중합체 밀봉 피드스루도 광물 절연 열전대에 사용 가능하고 오링을 통하여 고무 진공 밀폐를 밀봉합니다.

액체용 피드스루는 끝 부분이 개방되어 있거나 Swagelok® 또는 VCR 피팅이 있는 플랜지가 용접된 파이프입니다. 이중 벽 파이프는 저온 또는 고온 유체를 운반하는 피드스루에 사 용되는데, 여기서 유체 운반 파이프가 플랜지에서 열적으로 절연됩니다.

절연체는 여러 부분에 전류를 발생시키는 절연을 제공합니 다. 플랜지 연결에 용접 밀봉 및 납땜된 세라믹은 절연 거리 의 길이에 따라 높은 kV 범위에서 커다란 전위차를 분리할 수 있습니다.

파이프 피드스루는 탄성 중합체 오링 유리와 금속 파이프 진 공 밀폐를 한 줄로 고정시킵니다.