4.3 다이어프램 진공 펌프

4.3.1 설계 / 작동 원리

격막 진공 펌프는 건조 양변위 펌프입니다. 크랭크 사프트 구 동 연결 봉(4)은 헤드 커버(2)와 하우징(3) 사이에 인장되어 있는 격막(1)을 움직입니다. 헤드 커버와 격막 사이의 공간이 흡입실(5)을 형성합니다. 격막 펌프는 목표 기체 변위를 달성 하기 위하여 유입 밸브와 배출 밸브(6)를 필요로 합니다. 탄 성 중합체 재료로 만들어진 압력 제어 셔터 밸브가 밸브로 사 용됩니다. 흡입실이 격막에 의해 구동 시부터 완전 용접 밀봉 되어 있기 때문에 펌프 매개체는 오일에 의해 오염될 수도 없 고 공격적인 매개체가 기구를 부식시킬 수도 없습니다. 배출 밸브와 흡입실 사이의 불감 부피는 단 하나의 펌핑 스테이지 오는 약 70 hPa의 최종 압력에 도달하는 것만 가능함을 의미 하는 제한된 압축비를 낳습니다. 여러 개의 펌핑 단계를 직렬 로 연결하면 0.5 hPa의 최종 압력에 도달하는 것이 가능합니 다. 더 낮은 압력은 도달할 수가 없습니다. 왜냐하면 이 경우 엔 유입 밸브를 열 충분한 힘이 더 이상 없기 때문입니다. 격 막 펌프의 원리는 최대 약 10 m³· h^-1 의 낮은 펌프 속도에 특 히 적합합니다.

4.3.2 어플리케이션

탄화수소 없는 흡입실은 격막 펌프가 홀벡 단계의 터보분자 펌프에 대한 건조 배압 펌프로써 사용되는 데에 특히 적합하 게 해줍니다. 2단계 격막 펌프도 약 5 hPa의 최종 압력에 도 달할 수 있습니다. 이것은 홀벡 터보 펌프에 대한 배압 펌프 에 충분합니다. 깨끗한 진공은 특히 분석적 및 R&D 어플리 케이션에 유용합니다. 격막 펌프 역시 기체 밸러스트 없이 수 증기를 변위하지 않습니다. 고진공 장비의 벽에서 탁착하는 수증기의 낮은 부피조차도 격막 펌프의 최종 압력이 극적으 로 증가하도록 할 수 있습니다. 그러나 일부 격막 펌프는 특 허받은 공정에 따라 작동하는 기체 밸러스트 밸브가 장착되 어 있습니다. 이런 목적으로 기체가 2단계 격막 펌프의 첫 번 째 및 두 번째 단계 사이의 연결 채널로 유입되며, 이것은 작 은 구멍을 경유하여 첫 번째 단계의 흡입실과 연결됩니다.

더 큰 부피의 습기가 축적되고 기체 밸러스트 없는 격막 펌프 가 사용될 경우엔 펌프에 상당량의 응축물 형성을 방지하기 위하여 적합한 분리기 또는 냉각 트랩이 업스트림에 연결되 어야 합니다. 그러나 최종 압력은 그럼에도 불구하고 증가합 니다.

4.3.3 포트폴리오 개요

파이퍼 베큠의 격막 펌프는 최종 압력, 펌프 속도 및 부식성 개스의 펌핑 안정성에 따라 다릅니다. 펌프의 펌프 속도는 3~160 l · min-1 (0.25~9.6 m3· h-1)입니다. 2단계 펌프에 대한 4 hPa 미만의 최종 압력과 4단계 펌프에 대한 0.5 hPa 미만 의 최종 압력은 도달 가능합니다. 이들의 펌프 속도와 도달 가능한 최종 압력은 본선 주파수에 따라 달라집니다.
코팅된 격막과 부식 저항 하우징이 있는 부식성 기체 펌프 모 델은 부식성 기체의 펌핑에 사용 가능합니다.
펌프의 지정은 l · min-1 의 펌프 속도 및 펌핑 단계의 수를 표 시하는 방식으로 선택됩니다. 부식성 기체 펌프는 모델 지정 시 끝에 문자 C가 붙습니다.

4.3.4 부속품

다음 부속품은 격막 펌프에 사용 가능합니다.