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전 세계

4.4 나사 진공 펌프

4.4.1 설계 / 작동 원리

동시에 접촉없이 반대편에 나사가 있는 두 개의 평행 베어링 지지 맞물림 나사 로터(3)는 그것들을 단단히 에워싸는 실린 더형 하우징(2)에서 반대로 회전하고, 함께 다중 단계 펌프를 형성합니다. 두 로터의 대응부 메시 때문에 각 나사에서 밀봉 된 부피가 출구(4)의 로터를 따라 이동합니다. 펌프는 유입구 (1)나 출구에 밸브가 없습니다. 변위 부피가 출구 구멍에 도 달할 때 압력은 대기와 같아집니다. 이것은 대기의 공기가 변 위 부피로 들러 들어가 로터가 돌 때 다시 변위됨을 의미합니 다. 이 펄싱 기체 흐름은 높은 수준의 방전 에너지를 생성하 고 펌프를 가열합니다. 이 소멸된 에너지는 내부의 압축에 의 하여 감소될 수 있습니다. 내부 압축은 출구 방향으로 나사 피치를 줄임으로써 이루어집니다. 서로 상대적인 로터 사이 뿐만 아니라 하우징과 로터 사이의 틈새가 나사 펌프가 도달 할 수 있는 최종 압력을 결정합니다. 로터가 서로 물려 있을 때 일어나는 기하학과 틈새 구성은 최종 압력에 커다란 영향 을 미칩니다.
펄싱 기체 흐름에 의해 생성된 소멸 에너지가 출구 측면에서 펌프롤 가열하기 때문에 정확히 이 위치에 냉각이 필요합니 다. 하우징과 로터 사이의 틈새는 더 따뜻한 로터와 냉각된 하우징 사이의 온도 차이와 관계가 있습니다. 만들어진 열의 양과 온도는 유입구 압력 범위와 관계가 있습니다. 온도는 높 은 유입구 압력(거의 대기압)에서 가장 낮습니다. 왜냐하면 실제로 어떤 압축 작업도 여기서 수행되지 않고 변위된 공기 가 펌프에서 충분한 열을 전달하기 때문입니다. 또한 높은 기 체 흐름 역시 최종 단계에서 기체의 진동을 방지합니다. 최종 압력(p < 1 hPa)에서 작동 시 대기 공기의 진동은 출구 영역 에서 더 높은 온도를 만들어냅니다. 왜냐하면 어떤 공기도 펌 프를 통과하여 지나가지 않고 따라서 어떤 열도 펌프에서 전 달되고 있지 않기 때문입니다.

HeptaDry 펌프는 내부 압축이 있는 건조 나사 펌프입니다. 나사 로터는 다양한 피치와 대칭적인 기하학을 갖습니다. 이 펌프는 제어 구멍이 있는 단판이 없습니다. 그 대신 기체가 대기압에 반하여 축 방향으로 방전됩니다. 내부 압축 때문에 펑싱 기체의 부피가 낮습니다.

이것은 더 낮은 전력 소비, 조용한 작동, 펌프 내의 균일한 온 도 분배, 낮은 냉각수 소비를 이끕니다. 이로써 이 펌프는 견 고한 설계에도 불구하고 매우 비용 효율적입니다.

4.4.2 어플리케이션

최근 몇 년 동안 다음 섹션에서 설명되는 수냉 나사 펌프와 다단계 루츠 펌프가 이전에 높은 펌프 속도 부문(100 – 600 m³ · h-1)에서 우세했던 오일 윤활 회전 날개 펌프를 점점 더 대체하고 있습니다.

나사 펌프의 이점은 다음과 같습니다.

  • 기체 변위 영역에서 윤활 없음
  • 펌프 매개체의 오엽 없음
  • 작동 유체 처리 문제 없음
  • 내부 압축으로 인한 더 높은 효율성
  • 1~1,000 hPa의 현실적으로 일정한 펌프 속도
  • 양호한 액체 및 먼지 허용치
  • 루츠 펌프에 대한 이상적인 배압 펌프
이것은 HeptaDry 나사 펌프가 먼지를 만들어내는 화학적 어 플리케이션 또는 공정(예: 결정체 성장 또는 상당한 응축물 부피가 만들어지는 경우)에 무척 적합하게 만들어줍니다.

온도 조절 냉각 시 물 흐름 부피는 유입구 압력, 기체 유형, 회전 속도 및 펌프 크기와 같은 매개변수에 따라 달라집니다. 물 흐름 냉각으로 인해 실제로 어떤 열도 대기로 발산되지 않 습니다. 이것은 모든 기존 공기 조절 체계에서 열 부하를 감 소시키고 에너지 소모를 줄입니다.

주요 나사 펌프 어플리케이션의 개요

  • 건조, 냉동 건조
  • 전자 빔 용접
  • 금속 공학
  • 코팅
  • 부하 락
  • 화학적 어플리케이션

4.4.3 포트폴리오 개요

HeptaDry 펌프는 높은 체적 유량율이 요구되는 저진공 및 중 간 진공 범위의 어플리케이션을 위한 건조 나사 펌프입니다. 이 제품 라인의 펌프 속도 범위는 100~600 m3 · h-1 입니다. 0.1 hPa 이하의 최종 압력에 도달합니다. 이들의 펌프 속도 와 도달 가능한 최종 압력은 본선 주파수에 따라 달라집니다.


해당 모델과 상관없이 HeptaDry 펌프는 특별한 작동 범위에 서 연속으로 작동될 수 있습니다. 이들의 효과적인 펌프 속도 는 펌프 속의 개별 밀봉 부피 사이의 더 강력한 배압 때문에 p < 1 hPa 압력으로 감소합니다. 높은 압력에 대한 펌프 속 도의 감소에 대해서는 합당한 이유가 있습니다. 이 경우 기체 가 내부 압축을 통하여 대기압 이상의 압력으로 압축되고 그 결과 높은 차압으로 인해 역류가 크게 증가하기 때문입니다.


펌프에 딸려 오는 표준 장비에는 유입구 체, 온도 조절 밸브 와 온도계가 달린 물 흐름 냉각, 역류 방지 밸브가 달린 소음 기, 진동 댐퍼가 달린 프레임 장착 설계가 포함됩니다. 펌프 는50~60Hz(3,000 또는 3,600 rpm)에 적합한 3상 온도 모니 터링 비동시 모터로 구동됩니다.

4.4.4 부속품

먼지 분리기(SAS)는 나사 펌프의 부속품으로 사용 가능합니 다. 펌프에 연결 플랜지를 끼워맞출 수 있는 다양한 유형이 있습니다.

D1 유형 다이에스테르 오일이 작동 유체로 사용됩니다.