5.3 포트폴리오 개요

파이퍼 베큠은 액티브 측정기는 단일 또는 조합 센서의 형태 로, 패시브 측정기는 단일 센서로 제공합니다. 서로 다른 전 기 인터페이스와 센서 전자를 갖춘 세 개의 제품 라인을 사용 가능합니다.

진공 게이지 선택 가이드

진공 한계에서의 판독은 측정 원칙에 따라 덜 정확할 수 있습니다.

5.3.1 DigiLine

DigiLine 범위의 액티브 측정기는 직렬 RS-485 또는 fieldbus 인터페이스를 경유하여 압력 신호를 제공합니다. 24 VDC로 전원을 공급받습니다. 다양한 어플리케이션 옵션은 그림 5.9에 설명되어 있습니다.

최대 두 개의 측정기가 작동될 수 있고, 그 압력값은 DPG 202 전원 공급 유닛으로 표시됩니다. DPG 202는 PC 연결용 으로 한 개의 USB 인터페이스가 있습니다. 액티브 DigiLine 진공 측정기로부터 오는 신호는 PLC 또는 PC에 의해 직접 처리될 수도 있고 DokuStar Plus 소프트웨어에 의해 표시될 수도 있습니다.

DigiLine 측정기의 선택적인 버전들은 Profibus-DP 및 DeviceNet fieldbus 표준용 인터페이스와 함께 사용 가능합 니다. 이렇게 되면 진공 측정기는 더 적은 수의 와이어류와 케이이블류 그리고 빠른 초기 시작을 통하여 알려진 모든 절 감 이점을 갖춘 공장 제어 시스템의 fieldbus 네트워크로 쉽 게 통합될 수 있습니다.

더 큰 옵션은 추가 아날로그 출력 및 전환점을 갖춘 DigiLine 측정기입니다. 아날로그 출력은 중앙 제어 시스템과 연결된 송신기의 국부 압력 디스플레이의 설정과 같은 작업에 사용 될 수 있습니다. 전환점은 고정 배선 안전 기능이 컴퓨터 제 어와는 무관하게 제공되도록 해줍니다.

액티브 DigiLine 진공 측정기는 다음과 같은 이점을 제공합니 다.



액티브 DigiLine 단일 센서 측정기는 piezo-격막 시스템 CPT 200(2,000 – 1 hPa)과 Pirani 시스템 PPT 200(1,000-10^-4 hPa)의 형태에서 사용 가능합니다.

조합 센서가 있는 다음 측정기는 DigiLine 시리즈에서 사용 가능합니다.

5.3.2 ActiveLine

ActiveLine 계열에는 0 – 10 volt 아날로그 출력을 가진 세 개 의 제어 유닛과 여덟 개의 액티브 진공 측정기가 포함됩니다. 모든 송신기엔 동일한 커넥터 조립체가 장착되어 있고, 그러 므로 제어 유닛에 있는 동일한 측정 케이블로 작동될 수 있습 니다. 측정 케이블은 1~50미터의 표준 길이에서 사용 가능합 니다.

액티브 piezo 진공 측정기 APR는 5.5MPa(55bar)에서 10Pa(0.1mbar)까지 6개 모델의 5개 측정 범위를 포괄합니 다.

용량성 격막 진공 측정기 CMR은 각각 1100 hPa – 10^-5 hPa 인 5개의 측정 범위에서 온도 보상 및 온도 조절 버전의 형태 에서 사용 가능합니다. 서로 다른 정격치(전체 스케일= F.S.) 는 다음과 같은 카테고리를 만들어냅니다.

파이퍼 베큠의 이 세라믹 기술 측정기는 많은 특히 부식성 어 플리케이션에서 입증된 트랙 기록을 갖고 있습니다.

마이크로 공학에서 일반적으로 사용되는 Torr 및 mTorr의 유 닛과 함께 사용할 경우, 용량성 격막 진공 측정기 CCR엔 다 음과 같이 Torr의 정격치가 공급될 수 있습니다.

CCR 시리즈엔 D-Sub 커넥터가 있고, 전원 공급 및 출력 전 압은 다른 상업용 용량성 송신기와 호환 가능합니다. 그러나 이런 특징으로 인해 ActiveLine 제어 유닛으로는 작동될 수 없습니다.

단일 센서 ActiveLine 송신기의 범위는 1,000 hPa~5 · 10^-5 hPa의 중간 진공 범위를 위한 두 개의 액티브 Pirani 진공 측 정기 TPR과 10 -2 ~5 · 10^-11 hPa의 측정 범위를 가진 세 개의 액티브 .저온 음극 진공 측정기 IKR로 마무리됩니다

TPR Pirani 측정기는 DCU 펌핑 스테이션 디스플레이 제어 유닛에 연결되어 추가 비용 없이 압력 판독을 제공할 수도 있 습니다.

액티브 열음극 진공 측정기 IMR 265의 센서에 있는 전극(양 극, 음극, 수집기)은 서로의 사이에 있는 굉장히 작은 이간 거 리와 함께 설계됩니다. 분자 흐름은 따라서 p < 10^-2 hPa의 압력에서도 우세하고, 그곳에서 이온 전류가 측정되도록 할 수 있습니다. 이 송신기의 추가 이점은 기본적으로 더 낮은 중간 진공 범위에 있는 진공 공정을 제어하는 데에 매우 적합 하게 해주는 Bayard-Alpert 설계보다 오염 감도가 더 낮다는 것입니다.

조합 센서를 가진 다음 액티브 진공 측정기가 사용 가능합니 다.
ActiveLine 측정기는 다음 이점을 제공합니다.

5.3.3 ModulLine

ModulLine 시리즈엔 1,000~8 · 10^-4 hPa의 압력 범위에 대한 세 개의 패시브 Pirani 진공 센서 TPR과 5 · 10^-3~10^-11 hPa 의 압력 범위에 대한 세 개의 저온 음극 진공 센서 IKR이 포 함됩니다. 이 진공 센서들은 어떤 전자도 포함하고 있지 않으 므로 높은 방사선 환경에 적합합니다. 거대한 케이블 범위는 진공 센서 사용 장소에서 멀리 떨어진 곳에 제어 유닛이 설치 되도록 하기 위하여 사용 가능합니다.

다음과 같은 기능을 가진 TPG 300이 제어 유닛으로 사용됩 니다.