A 204-1804 H/X
다단계 진공 부스터
기술 사양
시장 & 어플리케이션
유제품
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치즈 생산 - 치즈 진공 챔버
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치즈 생산 - 치즈 타워
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버터 생산
디스플레이
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물리적 증착(PVD)
반도체
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LPCVD / 확산
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스트리핑 / 애싱
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PVD
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Si Poly 에칭
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라이트 메탈 증착
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PECVD
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미세가공기술
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금속 및 높은 K 에칭
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산화물 에칭
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로드 잠금 및 이동
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코발트, WCVD, TiN 및 TDMAT
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ALD
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풀림
태양광
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셀 제조
박막 코팅
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실험실 코팅