CT-PF
입자 필터
청정
20mg/Nm3 미립자 물질(TA-Luft) 배출 제한 준수
안전
동봉된 집진 백으로 미립자 폐기물을 안전하게 처리
유지보수 불필요
공정 중단 없이 작동 중 필터 소자 자동 세척
기술 사양
시장 & 어플리케이션
반도체
-
LPCVD / 확산
-
PECVD
-
산화물 에칭
액세서리
- 먼지 가방
- 필터 소자
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