저소음
낮은 소음 및 진동 레벨, 반도체 제조 공정 및 분석 기기의 진동에 민감한 응용 분야에 완벽히 적합
유연성
다양한 보조 펌프와 호환 가능, 까다로운 화학 조건을 위한 가열 시스템이 통합된 MT 버전, 속도 제어 직류(DC) 모터
유지보수 불필요
마그네틱 베어링 기술 덕분에 부품 마모 없음, MT 버전의 경우 입자 오염이나 잔류물 축적 감소
기술 사양
시장 & 어플리케이션
자동차 및 운송
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우주 연구조사
디스플레이
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물리적 증착(PVD)
의료
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진단 이미징
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의료용 가속기
R&D
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고에너지 물리학
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광자 조사
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우주 연구조사
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초고진공
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플라즈마 물리학
반도체
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LPCVD / 확산
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PVD
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검사 및 계측학
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Si Poly 에칭
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라이트 메탈 증착
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이온 이식
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PECVD
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미세가공기술
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금속 및 높은 K 에칭
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산화물 에칭
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로드 잠금 및 이동
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코발트, WCVD, TiN 및 TDMAT
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ALD
박막 코팅
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유리 코팅