ATH-M/ATP-M

ATH-M 및 ATP-M 시리즈의 마그네틱 베어링 기술은 전자기학과 정교한 전자 제어 시스템을 활용하여 로터를 서스펜션 상태로 유지하고 펌프 하우징과의 물리적 접촉 없이 회전할 수 있도록 합니다. 이를 통해 마찰이 제거되고 마모가 방지되며 이러한 터보 펌프는 유지보수가 필요하지 않습니다.

기계적 마찰이 최소화되어 소음 및 진동 레벨도 낮습니다. 따라서 ATH-M 및 ATP-M 터보 펌프는 반도체 제조 공정의 진동에 민감한 응용 분야에 이상적입니다.

또한 정전이 발생하면 펌프의 회전 에너지로 생성된 전기가 마그네틱 베어링에 공급됩니다. 이를 통해 몇 분 동안의 정전에도 문제가 발생하지 않습니다.

터보 진공 펌프의 로터는 속도 제어 직류(DC) 모터로 구동됩니다. 이러한 진공 펌프는 원하는 진공 레벨에 맞게 로터의 회전 속도를 조절할 수 있어 에너지와 비용을 절약할 수 있습니다. 최신 세대의 ATH-M 및 ATP-M 펌프의 경우 구동이 펌프에 통합되어 있어 설치 공간이 작습니다.

일부 ATH-M 터보 펌프에는 통합 가열 시스템이 장착되어 있어 까다로운 화학 조건에서도 펌프 성능을 유지하는 데 도움이 됩니다. 이 특징은 화학 반응이 진공 시스템 내부에 응축되는 부산물을 생성할 수 있는 화학기상증착(CVD)과 같은 응용 분야에서 특히 유용합니다. 통합 가열은 펌프를 지속적으로 높은 온도로 유지하여 응결 및 잔류물 축적의 위험을 줄여줍니다.