높은 온도 및 흐름
광범위한 공정 범위, 높은 내부식성
자체 진단
성능 진단, 유지보수 최적화 및 외부 통신을 위한 내장 센서
경제성
최적화된 온도 관리, 낮은 출력 및 냉각수 소비, 낮은 소유 비용
기술 사양
시장 & 어플리케이션
디스플레이
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물리적 증착(PVD)
반도체
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LPCVD / 확산
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PVD
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검사 및 계측학
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Si Poly 에칭
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라이트 메탈 증착
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이온 이식
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PECVD
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미세가공기술
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금속 및 높은 K 에칭
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산화물 에칭
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로드 잠금 및 이동
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코발트, WCVD, TiN 및 TDMAT
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ALD
박막 코팅
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광학 코팅
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장식용 코팅
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마모 방지 코팅
액세서리
- 보호 실링 가스 퍼지 밸브
- 냉각수 밸브
- 휴대형 원격 제어
- 유입구 플랜지 보호 필터
- 장착 키트
- 유입구 플랜지: VG350 또는 VG400
- 배기 플랜지: DN40 또는 DN50
- 다양한 가열 기능 옵션
- 가혹한 공정을 위한 추가 중간 퍼지
- 로터 온도 센서
- 퍼지 감지 센서
- 입력 출력: 200, 440 또는 480 VAC