가스 저감 시스템

당사의 다양한 열 가스 처리 시스템은 반응 챔버에서 유해 가스의 고온 연소와 고급 습식 스크러빙 공정을 결합하여 폐가스와 오염 물질을 효율적으로 제거합니다. 이러한 시스템은 환경에 미치는 영향을 최소화하면서 유해한 과불화화합물(PFC)을 효과적으로 파괴할 수 있습니다.

이러한 시스템은 입증되고 지속 가능한 접근법을 통해 엄격한 배출 규정을 준수하므로 반도체 및 화학 산업, 연구 개발과 같이 안정적인 가스 저감이 필요한 다양한 산업에 이상적입니다.

당사의 습식 가스 처리 시스템(습식 스크러버라고도 함)은 산업용 배기면 흐름에서 오염물질, 입자 및 용해성 가스를 효과적으로 제거합니다. 이러한 저감 시스템은 액체 흡수 및 화학 반응을 통해 산성 가스, 휘발성 유기 화합물(VOC) 및 먼지에 대한 높은 제거 효율을 보장합니다.

습식 가스 처리는 에너지 요구량이 낮기 때문에 운영 효율성을 유지하면서 엄격한 환경 규정을 충족하는 신뢰할 수 있는 다목적 솔루션입니다.

Pfeiffer 의 혁신적인 건식 베드 흡수 기술은 특수 과립 흡수를 통해 독성 및 부식성 가스를 안전하게 제거합니다. 이를 통해 가스가 안정적이고 비휘발성인 고체 상태로 변환됩니다. 이제 과립 형태로 영구적으로 결합된 화학물질은 현지 규정에 따라 안전하게 폐기할 수 있습니다.

이 방법은 연료 가스나 물이 필요하지 않으며 액체 폐기물이 생성되지 않습니다. 따라서 특히 반도체 산업 및 연구 개발을 위한 산업용 가스 처리에 필요한 매체 요구량이 낮고 매우 효율적인 솔루션을 제공합니다.

당사의 건식 입자 필터는 미세먼지 배출을 최소한으로 줄입니다. 이 시스템은 열 가스 처리와 결합하여 동급 최고의 입자 제거 효율을 달성할 수 있습니다.

필터가 배기 덕트 이전의 사용 지점에서 먼지를 모으기 때문에 다운스트림 배기면을 수동으로 청소해야 하는 필요성이 최소화됩니다. 이를 통해 시설 운영 비용을 절감할 수 있습니다.

가스 저감 시스템은 반도체 제조 또는 산업용 가스 취급과 같은 제조 공정에서 발생하는 유해 오염 물질과 온실 가스를 제거합니다. 폐기물 가스 정화는 이러한 가스가 사람, 동물 또는 환경에 해를 끼치지 않고 안전하게 대기 중으로 방출될 수 있도록 하는 데 필수적입니다. 다양한 폐가스의 다양한 특성으로 인해 각기 다른 처리 기술이 필요합니다. 여기에는 열 산화, 습식 처리, 건식 베드 저감, 입자 여과 또는 조합이 포함될 수 있습니다.

열 습식: 열 및 습식 처리 기술을 결합하여 다양한 폐기물 가스를 제거합니다. 열 산화를 통해 유해 공정 가스의 화학적 조성을 변화시키고 수용성 가스와 부산물을 하류 습식 단계에서 용해시킵니다.

습식 스크러버: 이 공정에는 배기가스 내 수용성 유해 오염 물질을 흡수하여 액상으로 전환하여 스크러빙하는 과정이 포함됩니다.

건식 베드 흡수장치: 건식 베드 흡수장치는 오염 물질이 화학적 또는 물리적으로 결합된 고체 흡수층을 통과하여 폐가스를 제거하는 가스 저감 시스템입니다. 이 방법은 유해한 공정 가스를 효율적으로 처리하여 안전하고 환경 규정을 준수하는 배출을 보장합니다. 포화 상태가 되면 지속적인 작동을 위해 흡수제가 교체되거나 재생됩니다.

필터 시스템: 입자 필터는 건식 필터 요소로 미세먼지 배출을 줄입니다. 이를 통해 입자가 발생하기 쉬운 반도체 공정에서 발생하는 것과 같이 입자가 많은 배기 공기 흐름을 효율적으로 청소할 수 있습니다. 필요한 경우 입자 필터는 열 가스 저감 시스템의 다운스트림에 설치할 수 있습니다.

Pfeiffer 의 가스 저감 시스템은 높은 효율, 유연성 및 비용 효율성을 제공하므로 반도체 제조 및 기타 까다로운 산업에 이상적인 선택입니다. 주요 장점은 다음과 같습니다.

배기 가스 유형
다양한 가스 저감 시스템이 특정 유형의 가스를 처리하도록 설계되었습니다. 반도체 및 화학 산업, R&D 및 기타 유사 산업에서 가장 많이 발생하는 가스의 경우 아래 그림과 같이 폐가스 저감 기술을 권장합니다.

특정 공정 작동 모드
공정 운영 방식은 특정 가스 저감 기술의 적합성에 영향을 미칠 수 있습니다. 연속 생산 공정에 이상적인 기술이 R&D와 같이 자주 사용하지 않는 작업에는 비용 효율성이 떨어질 수 있습니다. 반연속 생산 공정이나 부분적으로 중단된 작업에는 또 다른 선택이 필요할 수 있습니다. 당사의 전문가가 특정 응용 분야에 적합한 기술을 찾을 수 있도록 도와드립니다.

특정 시설 요구 사항
시설의 인프라도 어떤 기술이 가장 적합한지에 영향을 미칠 수 있습니다. 가스 저감 기술마다 설치 공간이 다르기 때문에 폐가스 처리 시스템을 설치할 수 있는 공간을 고려해야 합니다. 또한 전기, 질소 등 사용 가능한 매체 공급과 산소, 연료 가스 및 유체와 같은 추가 기술별 요구 사항도 중요한 요소입니다.

적합한 가스 저감 시스템을 찾으려면 당사의 전문가에게 문의하세요.

당사는 첨단 가스 저감 기술을 통해 폐가스 배출로 인한 환경 영향을 최소화하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 당사의 시스템은 유해 배출을 효과적으로 줄이며, 여기에는 매우 높은 기후 온난화에 영향을 미치는 잔류성이 높은 PFC 가스(예: CF₄, SF₆, NF₃)가 있습니다. 사용 지점에서 이러한 가스를 효율적으로 정화함으로써 당사의 가스 저감 시스템은 기후를 보호하고 산업 배출을 줄이는 데 도움이 됩니다.

당사의 저감 솔루션은 모든 주요 안전 표준을 충족하고 독일의 TA-Luft 규정을 포함한 엄격한 대기질 법규를 준수합니다. 또한 ISO 14001 및 ISO 9001 인증은 산업의 지속 가능성과 고품질 생산에 대한 당사의 노력을 반영합니다.

당사는 지속 가능성에 초점을 맞춘 최첨단 기술을 결합하여 운영 효율성과 환경 발자국 모두에 도움이 되는 솔루션을 제공합니다.

모든 설치에는 고유한 요구 사항이 있으므로 Pfeiffer 의 가스 저감 시스템은 특정 폐가스 처리 요구 사항에 맞게 맞춤화할 수 있는 모듈식 설계가 특징입니다. 당사는 고객과 긴밀히 협력하여 고객의 프로세스 및 애플리케이션에 맞는 효율적이고 비용 효율적이며 지속 가능한 솔루션을 개발합니다.

풀 서비스 제공업체로서 당사는 초기 컨설팅부터 시운전에 이르기까지 상세한 프로젝트 계획을 보장하고 포괄적인 AS 및 서비스로 계속해서 고객의 시스템 가동을 최고 성능 상태로 유지할 수 있도록 지원합니다.

맞춤식 가스 저감 솔루션

Pfeiffer 에서 모든 가스 저감 시스템의 핵심은 혁신입니다. 글로벌 기술 리더이자 저감 기술의 원스톱 공급업체인 Pfeiffer 은 특히 반도체 제조 분야에서 보다 깨끗하고 지속 가능한 산업 표준을 위한 가장 진보되고 효율적인 솔루션을 제공합니다.

당사의 사내 연구 실험실 덕분에 지속적으로 최첨단 환경 기술 개발이 가능합니다. 또한 대학 및 연구 기관과 적극적으로 협력하여 안전하고 규정을 준수하는 가스 저감을 보장함으로써 새로운 제조 공정 개발을 지원합니다.