누출 검출기 기술

헬륨 또는 수소 소요 가스(수소와 불활성 기체, 일반적으로 질소의 혼합물)를 사용하는 추적 가스 누출 검출은 매우 낮은 누설률을 높은 정밀도로 식별하는 데 이상적입니다. 이 방법은 반도체 제조와 같이 정확성, 반복성, 감도가 중요한 산업 전반에서 널리 사용됩니다.

헬륨 및 수소를 사용한 누설 테스트 방법

헬륨과 수소를 사용한 누출 테스트의 다양한 테스트 방법에 대한 자세한 내용은 FAQ에서 확인하십시오.

당사의 특허 받은 Micro-Flow 센서가 장착된 공기 누출 검출기는 업계에서 독보적인 제품입니다. 이 지능형 가스 누출 센서는 유량, 압력 및 온도를 측정하여 누설률과 결함 크기에 정비례하는 수치 결과를 제공합니다. 이 기술은 다른 누설 테스트 방법과 비교할 때 몇 가지 이점을 제공합니다.

검사 방법

FAQ에서 공기 누출 검출의 다양한 테스트 방법에 대한 세부 사항을 자세히 알아보십시오.

진공 누설은 진공 시스템에서 의도하지 않거나 원치 않는 개구부가 생기는 것을 말합니다. 이를 통해 공기 또는 기타 가스가 시스템에 유입되거나 빠져나갈 수 있습니다. 진공 시스템에서 누설되는 공기 또는 가스의 양을 누설률이라고 합니다. 누설률은 개구부의 크기와 개수, 가스 유형, 시스템 내부와 외부의 압력 차이 등 여러 요인에 따라 달라집니다.

진공 누설에는 다음과 같은 두 가지 유형이 있습니다.

누출 감지에 대해 자세히 알아보기

진공 누설은 여러 가지 이유로 발생합니다. 그러한 이유로는 다공성 씰의 결함이나 오래된 씰, 손상된 부품, 진공 장비의 부적절한 설치 등이 있습니다.

진공 누출의 평균 크기는 정해져 있지 않습니다. 누출은 원인에 따라 미세한 구멍, 큰 찢김 또는 그 사이의 모든 것에서 비롯될 수 있습니다. 진공 누출의 사이즈는 누설률(초당 시스템에서 누설되는 공정 가스 또는 공기의 양)을 측정하여 결정할 수 있습니다. 대부분의 기술적 누설은 육안으로 볼 수 없을 정도로 작습니다. 헬륨 또는 공기 누출 검출기는 작은 진공 누출을 검출하고 정량화하는 가장 정확한 방법을 제공합니다.

누출 검출기로 누출을 검출하는 방법은 다양합니다. 즉, 추적 가스를 사용하거나 공기를 사용합니다.

추적 가스를 검출 수단으로 사용하는 경우 세 가지 옵션이 있습니다. 스프레이 테스트는 진공 상태의 부품에 적합하며, 스니핑 누출 검출은 압력을 받는 부품에 사용됩니다. 통합 누설 테스트는 진공 챔버 내부에 배치할 수 있는 부품의 변형입니다.
이 테스트 방법은 수행하기 쉽고 정확한 결과를 제공하므로 Pfeiffer 의 누출 검출기를 진공 공정에 완벽하게 추가할 수 있습니다.

추적 가스 누출 감지

추적 가스를 검출 수단으로 사용하는 경우 세 가지 옵션이 있습니다. 스프레이 테스트는 진공 상태의 부품에 적합하며, 스니핑 누출 검출은 압력을 받는 부품에 사용됩니다. 통합 누설 테스트는 진공 챔버 내부에 배치할 수 있는 부품의 변형입니다.

분사 테스트

분사 검사는 진공 상태의 부품을 검사하는 데 매우 적합한 검사 방법입니다. 이 측정 원리는 모든 방법 중 민감도가 가장 높습니다. 진공 펌프는 누출이 의심되는 검사 대상에서 공기를 제거하고 누출 검출기는 플랜지를 통해 검사 대상에 연결됩니다. 검사 대상은 진공 용광로, 파이프라인, 용기 또는 기타 장비 부품까지 다양합니다. 분사 건 키트를 사용하여 헬륨 또는 수소를 검사 대상의 외부 표면에 분사합니다(그림 1 참조). 누출이 발생하면 누출 검출기의 통합 터보 진공 펌프와 보조 펌프를 통해 유입되는 분자를 끌어들입니다. 분자가 분석기 셀로 들어가면 추적 가스가 감지됩니다.

스니핑 누출 감지

스니핑 누출 검출은 압력이 가해진 부품에 매우 적합한 방법입니다. 장비, 파이프 라인 또는 컨테이너와 같은 테스트 대상에 추적 가스를 주입하여 내부 압력을 높입니다. 스니퍼 프로브(트레이서 가스를 수집하도록 설계된 공구)는 액세서리로 구입하여 누출 검출기에 연결할 수 있습니다. 작업자는 스니퍼 프로브를 테스트 물체 위로 천천히 그리고 체계적으로 안내하여 잠재적인 누출을 검색합니다(그림 2 참조). 누출이 발생한 경우 방출되는 추적 가스 원자가 감지됩니다. 이를 통해 누출 위치를 정확하게 확인할 수 있습니다.

통합 누설 테스트

분사 검사 및 스니핑 누설 테스트 모두 통합 누설 테스트에 사용할 수 있습니다. 여기서 검사 물체는 플라스틱 필름이나 단단한 용기(그림 3과 4의 파란색 그림)와 같은 용기 내부에 배치됩니다.

통합 스니핑 누출 검출은 대기압에서 수행됩니다. 테스트 물체는 헬륨 또는 수소 소요 가스(1)로 채워져 있습니다. 누출이 발생하여 추적 가스가 빠져나가기 시작하면 용기에 포집됩니다. 스니퍼 탐지기는 시간 경과에 따른 농도 증가를 확인하고 누설률(2)을 측정합니다.

통합 분사 검사의 경우, 검사 물체를 누출 검출기에 연결하고 용기(3) 내부에 배치합니다. 기존 분사 검사와 마찬가지로 일체형 분사 검사는 진공 상태에서 수행됩니다. 그러나 기존의 분사 검사는 검사 물체 자체를 배기하는 반면, 이 방법은 주변 용기만 배기합니다. 그런 다음 용기에 정해진 양의 헬륨을 채웁니다. 이를 통해 정밀한 검사 조건과 정확한 결과를 보장합니다. 누출이 발생하면 차압으로 인해 헬륨이 검사 물체에 침투합니다. 누출 검출기는 검사 대상 내부의 헬륨 양을 측정하고 누설률 결정합니다. 그러나 통합 누설 테스트 방법은 누출의 위치를 파악할 수 없습니다.

공기 누출 검출

또 다른 방법은 공기 누출 검출기를 사용하는 것입니다. 이 방법은 특허받은 Micro-Flow 센서를 사용하여 누출로 인해 손실된 공기를 보충하기 위해 저장소에서 얼마나 많은 공기가 흐르는지 측정합니다. Micro-Flow 센서를 사용하는 특수한 방법인 질량 추출을 사용하여 압력을 받는 물체 또는 진공 상태의 물체에서 누출을 검출하는 데 사용할 수 있습니다.

Micro-Flow

먼저 검사 대상을 검사 설정에 연결합니다. 여기에는 누출 검출기와 공기 저장소가 포함됩니다. 그런 다음 저장소의 공기로 검사 물체를 사전 정의된 압력 레벨로 가압합니다. 누출이 발생하면 검사 물체에서 공기가 누출됩니다.

이 설정은 손실된 공기를 보상하기 위해 가스 흐름을 지속적으로 보충하여 압력을 유지합니다. 보충된 가스 흐름은 저장소에서 특수 설계된 센서인 Micro-Flow 센서를 통과합니다. 이 센서에는 신호를 증폭하는 특허 기술이 탑재되어 있어 5 · 10^-4 mbar · l/s까지의 매우 낮은 누설률도 측정할 수 있습니다.

이 기술은 비파괴 방식으로 검사 물체를 그대로 유지합니다. 매일 보정할 필요 없이 정량적인 결과를 제공하기 때문에 다양한 산업 분야에서 높은 신뢰성과 효율성을 제공합니다.

질량 추출

질량 추출 방법도 Micro-Flow 센서를 사용하지만 진공 상태에서 수행됩니다. 따라서 검출 한계가 향상되고 진공의 절연 효과로 인해 열 전달이 발생하지 않습니다.

질량 추출의 첫 번째 단계에서는 검사 장치를 진공 챔버에 넣습니다. 이 챔버는 누출 검출기, Micro-Flow 센서 및 공기 저장소와 연결됩니다. 그런 다음 챔버가 비워집니다. 검사 장치의 누설률은 저장소에서 검사 장치로의 유량에 의해 결정됩니다. 이 방법을 사용하면 7 · 10^-7 mbar의 검출 한계에 도달할 수 있으며 1μm의 작은 결함도 검출할 수 있습니다.

분사 검사 및 스니핑 누설 검사는 추적 가스 헬륨 또는 수소를 사용하는 가장 일반적인 두 가지 누설 검사입니다.

분사 검사는 진공 상태의 부품을 검사하는 데 매우 적합한 검사 방법입니다. 이 측정 원리는 모든 방법 중 민감도가 가장 높습니다. 헬륨 또는 수소를 검사 대상의 외부 표면으로 분사합니다. 누출이 발생하면 유입되는 분자는 통합된 터보 진공 펌프와 함께 보조 펌프를 통해 흡입됩니다. 그리고 최종적으로는 분석기 셀로 전달됩니다. 이 셀에서 추적 가스를 감지합니다.

스니핑 누출 검출은 압력이 가해진 부품에 매우 적합한 방법입니다. 헬륨 또는 수소를 사용하여 검사 대상에 압력이 가해집니다. 그런 다음 누출 검출기에 연결된 스니퍼 프로브가 물체 위로 천천히 체계적으로 안내합니다. 누출이 발생하면 누출되는 추적 가스 원자가 감지되어 누출 위치를 정확하게 파악할 수 있습니다.

정성적 누출 감지는 검사 대상에 누출이 있는지 여부만 결정합니다. 이는 ASM 제품 시리즈에서는 이미 100mbar의 흡입 압력에서 가능합니다. 흡입 압력이 감소함에 따라 일반적으로 25mbar에서 누출 검출기는 단순히 누출을 검출할 뿐만 아니라 누출의 크기까지 파악할 수 있습니다. 이를 정량적 누출 검출이라고 합니다.

압력 감쇠 검사에서는 목표 압력에 도달할 때까지 압력 용기에 공기를 채웁니다. 그런 다음 설정된 기간 동안 해당 압력의 손실(감쇠)을 측정합니다.

진공 누설 테스트에는 여러 가지 유형이 있습니다. 예를 들어, 당사의 ASM 및 ASI 누출 검출기와 같은 특수 장치는 추적 기체 헬륨 또는 수소를 사용하여 두 가지 유형의 검사를 수행할 수 있습니다. 또는 당사의 공기 누출 검출기 시리즈는 혁신적인 Micro-Flow 기술을 사용하여 누출을 검출할 수 있습니다.

진공 누설 테스트는 압력 감쇠 검사에 비해 더 빠른 결과를 제공하며 온도 변화와 같은 외부 요인에 덜 민감합니다. 따라서 결과도 더 정확합니다.

분사 검사와 스니핑 누출 검출은 모두 추적 가스를 사용하는 방법입니다. 분사 검사는 진공 상태의 부품을 검사하는 데 매우 적합한 검사 방법입니다. 첫 번째 단계는 검사 물체의 외부 표면에 헬륨 또는 수소를 분사하는 것입니다. 누출이 발생하면 유입되는 분자는 누출 검출기의 통합 터보 진공 펌프와 함께 보조 펌프를 통해 흡입됩니다. 그리고 최종적으로는 분석기 셀로 전달됩니다. 이 셀에서 추적 가스 원자를 감지합니다.

스니핑 누출 검출은 압력이 가해진 부품에 매우 적합한 방법입니다. 헬륨 또는 수소를 사용하여 검사 대상에 압력이 가해집니다. 그런 다음 누출 검출기에 연결된 스니퍼 프로브가 물체 위로 천천히 그리고 체계적으로 이동합니다. 누출이 발생하면 누출되는 추적 가스 원자가 감지되어 누출 위치를 정확하게 파악할 수 있습니다.

두 검사 방법 모두 수행이 편리하며 정확한 결과를 제공합니다.

당사의 마이크로 흐름 센서 덕분에 공기 누출 검출기는 업계에서 유일합니다. 이 지능형 가스 누출 센서는 기존의 공기 누출 검출기보다 감도가 훨씬 높으며 5 · 10^-4 mbar · l/s의 낮은 누설률도 감지할 수 있습니다. 또한 검사 속도가 다른 방법보다 빠르며 압력 감쇠를 사용하는 것보다 최대 40% 더 빠르게 결과를 제공할 수 있습니다.

Micro-Flow 센서는 누출로 인해 손실된 공기를 보충하기 위해 압력 저장소에서 흐르는 공기의 양을 측정합니다. 이 유량과 압력 및 온도를 측정함으로써 누설률과 결함 크기에 정비례하는 수치 결과를 제공할 수 있습니다.

누출 유량에서 직접 측정이 이루어지기 때문에 Micro-Flow는 온도와 같은 환경 변화의 영향을 최소화하여 다른 누설 테스트 방법에서 발생할 수 있는 오탐 결과의 수를 크게 줄입니다. 예를 들어, 다른 유량계는 일정 시간 동안 온도 변화를 측정하여 공기 흐름을 계산하는 온도 전달 원리에 따라 작동합니다. 다른 유량계는 멤브레인과 같은 특정 부품의 움직임 정도를 측정하여 유량을 계산할 수 있는 기계적 움직임을 측정합니다.

이 기술은 비파괴 방식으로 검사 물체를 그대로 유지합니다. 매일 보정할 필요 없이 정량적인 결과를 제공하기 때문에 다양한 산업 분야에서 높은 신뢰성과 효율성을 제공합니다.

질량 추출은 마이크로 흐름 센서 사용 추가 기법입니다. 기본 원리는 Micro-Flow 접근법과 유사하지만 더 높은 감도를 달성하기 위해 진공 상태에서 검사가 수행됩니다. 검사 장치는 진공 챔버에 배치됩니다. 이 챔버는 Micro-Flow 센서가 포함된 누출 검출기와 공기 저장소에 연결됩니다. 그런 다음 챔버가 비워집니다. 검사 장치의 누설률은 저장소에서 검사 장치로의 공기 흐름에 의해 결정됩니다. 이 방법을 사용하면 7·10^-7 mbar l/s(<1μm)까지의 누설률을 검출할 수 있습니다.