브라우저를 업데이트하십시오. 이전 버전의 Microsoft Edge 브라우저를 사용하고 있는 것 같습니다. Pfeiffer (부쉬) 웹 사이트가 제공하는 최상의 경험을 위해 브라우저를 업데이트해 주십시오.

진공 밸브

진공 시스템 설계에 필수적

진공 밸브

진공 밸브는 다양한 산업 및 연구 응용 분야에서 정밀한 제어와 신뢰성을 보장하기에, 진공 시스템의 설계와 기능에 중요한 역할을 합니다.

당사의 밸브 포트폴리오에는 다양한 압력 제어 밸브 및 차단 밸브가 있으며, 여러 종류의 액추에이터 및 플랜지 유형과 조합하여 다양한 운영 조건을 충족할 수 있습니다.

진공 밸브의 유형

기본적인 진공 시스템을 구성하는 세 가지 핵심 장비 유형은 바로 진공 펌프, 진공 챔버, 진공 밸브입니다. 시스템 성능을 최적화하고 다른 핵심 부품이 제대로 맞물려 성능을 발휘하려면 적절한 진공 밸브를 선택하는 것이 매우 중요합니다.

진공 밸브는 일반적으로 두 가지 주요 범주로 구분되는데, 바로 차단 밸브압력 조절 밸브입니다.

차단 밸브

이 밸브는 가스 흐름을 차단하는 역할을 하며, 수동, 공압, 또는 전동식으로 작동할 수 있습니다. 격리 밸브는 진공 시스템 내 구획을 격리함으로써 진공 조건을 유지하는 데 중요합니다. 반도체 제조, R&D, 산업 공정 등 다양한 응용 분야에 널리 활용되는 격리 밸브는 신뢰할 수 있는 밀봉을 유지하고 운영 효율성을 보장합니다.
  • hv_valve

    HV 직각 밸브

    낮은 탈기 및 높은 차압 저항이 중요한 고진공 시스템에 이상적입니다.

    지금 구매하기
  • uhv_valve

    UHV 직각 밸브

    입자 배출 감소 및 초고진공 애플리케이션/응용 분야 최소화를 통한 신뢰할 수 있는 성능을 보장합니다.

    지금 구매하기
  • mini_valve

    미니 직각 밸브

    작은 설치 공간과 공간이 필요한 응용 분야에서 밀봉 및 환기에 특히 적합합니다.

    지금 구매하기
  • hv_gate_valves

    HV 게이트 밸브

    분자 흐름에 대한 전도도 값이 높아, 고진공 응용 분야에 이상적입니다.

    지금 구매하기
  • HV 진자 밸브

    HV 진자 밸브

    부드러운 작동과 높은 전도도로 공간이 제한적이고 신뢰할 수 있는 진공 격리가 필요한 응용 분야에 이상적입니다.

    지금 구매하기
  • UHV 게이트 밸브

    UHV 게이트 밸브

    높은 전도도와 우수한 밀봉성으로 초고진공 응용 분야에 이상적입니다.

    지금 구매하기
  • 볼 밸브

    볼 밸브

    가혹한 공정을 처리할 수 있어, 신뢰할 수 있는 밀봉성과 내구성이 요구되는 응용 분야에 적합합니다.

    지금 구매하기
  • inline_valves

    인라인 밸브

    효율적인 가스 흐름과 높은 차압으로 산업 및 연구 응용 분야에 이상적입니다.

    지금 구매하기
  • 벤트 밸브

    벤트 밸브

    적절한 속도로 진공 시스템을 대기압으로 복압시켜 안전한 유지보수 및 시스템 차단에 필수적입니다.

    지금 구매하기
  • 다이어프램 밸브

    다이어프램 밸브

    고진공 조건에 최적입니다.

    지금 구매하기
  • 버터플라이 밸브

    버터플라이 밸브

    고진공 응용 분야에서 진공 시스템의 구획 차단에 이상적입니다.

    지금 구매하기

압력 조절 밸브

압력 제어 시스템을 구성하는 세 가지 필수 부품은 밸브, 컨트롤러, 게이지입니다. 밸브의 주 역할은 진공 챔버 내부의 압력 및 진공 시스템 내부의 가스 흐름을 제어하는 것입니다.

이러한 압력 조절 밸브는 반도체 산업 등 정밀한 공정 제어가 요구되는 응용 분야 및 코팅 응용 분야에 이상적입니다.
  • gas_contol_valves

    가스 제어 밸브

    솔레노이드 작동 계량 메커니즘을 사용하여 가스 흐름을 정밀하게 제어합니다.

    지금 구매하기
  • gas_dosing_valve

    가스 투여 밸브

    진공 시스템 내에서 신뢰할 수 있게 가스 흐름 및 압력을 제어합니다.

    지금 구매하기

액추에이터

vacuum_valves_1
밸브는 다양한 구동 방식으로 작동할 수 있습니다.

차단 밸브는 핸드 휠 또는 퀵 클로징/퀵 오프닝 메커니즘을 사용하여 수동으로 또는 압축 공기를 사용하여 공압으로 작동하는 것이 일반적입니다.

하지만 당사의 Series E 차단 밸브 전동식으로 작동합니다. 압력 제어 밸브도 전동식으로, 모터로 구동됩니다.

지금 구매하기

수동 작동

수동 밸브는 전자 장치 없이 핸드 휠 또는 퀵 클로징/퀵 오프닝 메커니즘을 통해 작동할 수 있습니다.

핸드 휠은 정밀하게 유량을 제어할 수 있고 부드러운 작동이 가능한 반면, 퀵 오프닝/클로징 메커니즘은 신속한 차단이 필요한 비상 상황 등에 빠르게 작동합니다.

공압식 작동

공압식 밸브는 오일프리 압축 공기 공급이 필요합니다. 이 공기가 내부 피스톤을 움직여 밸브를 열거나 닫습니다.

전동식 작동

전동식은 모터를 사용하여 전기 에너지를 정밀한 기계적 움직임으로 변환합니다. 그래서 밸브를 열거나 닫을 때 압축 공기가 필요하지 않습니다.

전기 공압식 작동

전기 공압식으로 작동하는 밸브에는 공압 작동식 밸브에 솔레노이드 밸브가 내장되어 있어 압축 공기 공급을 제어합니다.

솔레노이드 밸브는 전동식 제어 밸브로, 전류로 자기장이 생성되면 열리거나 닫힙니다.

그래서 전기 신호를 통해 밸브를 원격으로 작동할 수 있어, 공압식 작동의 신속하고 신뢰할 수 있는 움직임과 전기 스위치의 편리함과 제어력이라는 장점을 모두 갖추고 있습니다.

FAQ

진공 밸브란 무엇입니까?

진공 밸브는 진공 시스템 내의 가스 흐름을 제어하는 기계 부품입니다.

각 밸브는 서로 다른 역할을 합니다. 단순히 열리거나 닫혀 가스 흐름을 시작 또는 중지시키기도 하고, 흐름을 제어하여 원하는 압력 수준을 설정 또는 유지하는 데 도움을 주기도 합니다. 몇명 유형의 밸브는 가스 흐름 방향을 바꾸기도 하고, 진공 챔버에 깨끗하고 건조한 가스를 유입시켜 시스템을 안전하게 대기압으로 복압하거나 가동 중단 중 민감한 부품을 보호하기도 합니다.

진공 밸브는 작동 방식에 따라 다양한 형태로 나눌 수 있는데, 대표적으로 수동, 공압식, 전동식 설계가 있습니다.

진공 밸브는 진공 펌프진공 챔버와 조합되어 사용됩니다. 진공은 반도체 제조, 박막 코팅, 연구 실험실 등의 응용 분야에서 신뢰할 수 있는 정밀한 작동을 위해 필수적입니다.

여러 밸브 유형의 차이점은 무엇입니까?

각 밸브 유형별로 진공 시스템 내에서 구체적인 기능을 수행합니다.
아래 개요에서, 귀사의 응용 분야에 정확히 맞는 것을 선택하는 데 도움이 될 수 있도록 주요 특성 및 사용 사례를 소개해드립니다.

밸브 유형
일반적인 기능
핵심 이점
흔히 사용되는 응용 분야
게이트 밸브
평판으로 열고 닫아 구획을 차단
매우 높은 전도도, 고진공초고진공에 적합
로드 록 및 이송 챔버, 코팅 시스템, 터보 진공 펌프 차단
직각 밸브
씰, 플러그, 스템을 사용하여 가스 흐름을 90° 꺾음
컴팩트한 설계로 배관 공간이 넉넉하지 않고 흐름 방향을 바꿀 필요가 있는 시스템에 적합
일반 진공 시스템, R&D 셋업, 모든 시장
버터플라이 밸브
회전하는 디스크가 흐름을 차단하거나 제어
가벼운 중량, 신속한 작동
볼 밸브
회전하는 볼을 통해 유량 제어 온/오프
컴팩트하고 견고한 설계, 빠른 작동
다이어프램 밸브
유연한 멤브레인을 통해 유량 제어
깨끗한 작동, 낮은 오염 위험
진자 밸브
회전하는 게이트로 플랫 씰링 움직임
좁은 공간에 적합, 높은 전도도, 입자 최소화
반도체박막 증착, 터보 진공 펌프 차단
벤트 밸브
대기압으로 천천히 복압하여 과도한 차압 완화
안전한 압력 평형, 부품 보호
유지보수 및 챔버 복압

밸브는 어떻게 작동합니까?

밸브는 크게 수동, 공압식, 전동식, 이렇게 세 가지 방식으로 작동합니다.

  • 수동으로 작동하는 밸브는 핸드 휠 또는 퀵 클로징/퀵 오프닝 메커니즘을 통해 열립니다. 퀵 오프닝/클로징 메커니즘은 신속한 차단이 필요한 비상 상황 등에 빠른 작동을 가능하게 합니다.
  • 공압으로 작동하는 밸브는 압축 공기를 사용하여 내부 피스톤 또는 다이어프램을 움직임으로써 밸브 메커니즘을 열거나 닫습니다.
  • 전동식모터를 사용하여 전기 에너지를 정밀한 기계적 움직임으로 변환함으로써, 압축 공기 없이도 자동화되고 신뢰할 수 있는 제어를 가능하게 합니다.
이외에도 두 방식이 조합된 버전도 있는데, 전기 공압식 밸브는 압축 공기를 사용하면서도 내장된 솔레노이드가 공기 흐름을 제어합니다. 이 솔레노이드 밸브는 자기장이 생성될 때 열리거나 닫히는 전동식 제어 밸브입니다.

모니터링 목적으로 위치 표시장치를 추가하면 밸브가 열렸는지 또는 닫혔는지를 확인할 수 있습니다. 수동 밸브는 일반적으로 시각적 표시장치를 통해 육안으로 확인하지만, 공압 밸브는 진공 시스템으로 전기적 피드백을 직접 제공하여 정밀한 제어 및 모니터링을 가능하게 합니다. 이러한 표시장치는 보통 밸브 스템 또는 액추에이터 하우징에 직접 장착되어 밸브 내부에서 움직이는 부품의 위치를 추적합니다.

진공 밸브를 선택할 때 어떤 기준을 고려해야 합니까?

귀사의 응용 분야에 적합한 진공 밸브를 찾으려면 다음과 같은 몇 가지 기준을 고려해야 합니다.

  • 목적: 응용 분야는 밸브를 선택하는 데 있어 가장 중요한 기준점입니다. 밸브의 주용도가 진공 라인 개폐인지, 압력 제어인지에 따라 요건이 달라집니다.
  • 설치 및 시스템 호환성: 사용 가능한 설치 공간의 물리적 치수와 진공 펌프 및 챔버의 플랜지는 적절한 밸브 사이즈를 선택하는 데 있어 매우 중요한 기준점입니다.
  • 펌핑 매질: 밸브를 통해 유입되는 가스의 조성에 따라 소재를 선택해야 밸브의 내구성과 신뢰도를 담보할 수 있습니다.
  • 온도: 예상되는 온도를 정확히 파악하고 이에 맞는 적절한 밸브 본체와 씰링 소재를 선택해야 오랜 시간이 흘러도 기능성을 유지할 수 있습니다.
  • 압력: 밸브가 노출될 압력 조건을 파악하고 이에 따라 밸브를 선택해야 합니다.

전문가와 상담하여 귀사의 응용 분야에 완벽히 적합한 진공 밸브를 찾아보십시오.

Pfeiffer의 진공 밸브의 특장점은 무엇입니까?

Series E 진공 밸브는 공압식전자 공압식 밸브를 직접 대체하는 제품으로, 견고한 내구성에 뛰어난 기능성, 완전 전기식 작동의 이점이 모두 조합되어 있습니다. 압축 공기 및 외부 솔레노이드 밸브의 필요성이 해소되었고, 전자석 작동식 밸브의 일반적인 단점인 높은 전력 소비량, 제한된 위치 정확도, 높은 발열량 문제가 없습니다. 그 결과, 정밀하고 신뢰할 수 있는 밸브 제어가 가능하면서도 에너지 사용량이 낮고 시스템 통합이 간편합니다.

당사의 압력 제어 밸브는 탁월한 성능을 발휘할 수 있도록 두 가지 혁신 기술이 통합되어 있습니다.

  • 컨트롤러 내부의 모터 제어 기술이 빠른 작동과 정밀한 위치 분해능을 제공하여 변화하는 공정 조건에 신속하게 대응할 수 있습니다.
  • 당사의 적응형 압력 제어 알고리즘은 모터 제어와 함께 작동하여 현재 조건에 따라 밸브 응답성을 지속적으로 조정합니다. 그래서 목표 압력을 정확하게 유지하는 데 도움을 줍니다.

어떤 압력 범위에서 밸브를 사용할 수 있습니까?

진공 밸브는 모든 진공 응용 분야에 적합하며, 구체적인 압력 수준에 필요한 밀봉 기술에 따라 선택하면 됩니다.

  • Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions는 고진공 응용 분야에 맞게 엘라스토머 씰ISO-KF/ISO-K 플랜지를 갖춘 다양한 밸브를 제공하여 신뢰할 수 있는 성능을 보장합니다.
  • 초고진공 응용 분야에는 금속 씰CF 플랜지를 갖춘 밸브가 가장 적합합니다. 고온 응용 분야에 맞게 모든 씰이 금속으로 되어 있는 올 메탈 밸브도 선택 가능합니다.

어떤 씰 및 밀봉 메커니즘을 선택 가능합니까?

및 밀봉 기법은 진공 시스템에 적합한 밸브를 선택하는 데 있어 중요한 기준입니다.

내열성과 탈기율이 다양하므로, 궁극적으로 공정의 요구에 따라 씰을 선택해야 합니다. 필요한 내열성 및 요구되는 진공 레벨도 충분히 고려해야 합니다.

  • 엘라스토머 씰고진공 응용 분야에 신뢰할 수 있는 밀봉력을 제공합니다. 엘라스토머 소재와 작동 유형에 따라 내열성이 천차만별입니다. 특정 밸브는 구체적인 응용 분야에 더 적합하도록 다른 특성을 지니고 있기도 합니다.
  • 금속 씰에는 엘라스토머가 필요하지 않습니다. 그래서 탈기율이 극도로 낮아 초고진공 응용 분야에 이상적입니다.

어떤 유형의 고진공 밸브를 구입할 수 있습니까?

Pfeiffer는 다양한 설치 및 성능 요구 사항을 충족하는 다양한 고진공 밸브를 갖춰 놓고 있습니다. 적절한 밸브 선택은 공정 시퀀스, 공정 온도, 최대 진공도, 가스 조성 등 여러 요인에 따라 달라집니다. 고진공 및 초고진공 시스템에는 신뢰할 수 있는 밀봉력과 높은 전도도, 내구성을 갖춘 밸브가 필요합니다.

  • 직각 밸브는 가스 흐름을 90° 꺾어 바꾸고, 인라인 밸브는 반대쪽에 연결 플랜지가 있어 직선형 파이프라인에 쉽게 설치할 수 있습니다. 두 제품 모두 일반적으로 씰로 벨로우즈를 사용합니다.
  • 게이트 밸브 및 차단 진자 밸브는 협소한 공간에 이상적이며, 반대편까지 막힌 곳 없이 뻥 뚫린 통로를 통해 막힘 없는 가스 흐름을 보장합니다. 고진공 및 초고진공용으로 설계되었으며 낮은 차압에서 개방되기도 합니다. 그래서 에어록 또는 진공 펌프의 업스트림에 이상적입니다.
  • 볼 밸브는 특정 고진공 응용 분야에서도 사용할 수 있습니다. 비용 최적화된 KF 설계로 10-6 mbar l/s의 누설률을 보이고, 최대 80 °C의 온도를 견딜 수 있습니다. HV 범위에 적합하게 특수 설계된 제품은 최대 150 °C의 온도를 견딜 수 있습니다.