A 3004
Wielostopniowe pompy próżniowe Roots
Solidna konstrukcja
Specjalnie zaprojektowany do bardzo trudnych procesów, wysoka tolerancja cząstek, doskonała odporność na korozję
Niezawodna konstrukcja
Wydłużony okres eksploatacji
Wysoka wydajność
Najlepszy w swojej klasie stopień sprężania, najniższy pobór mocy na rynku
Dane techniczne
Rynki i zastosowania
Półprzewodnik
-
LPCVD / dyfuzja
-
Zdejmowanie izolacji/popielenie
-
Si Poly etch
-
Lekkie osadzanie
-
PECVD
-
Litografia
-
Wytrawianie metali i materiałów o wysokiej stałej dielektrycznej
-
Kobalt, WCVD, TiN i TDMAT
-
ALD
-
Wyżarzanie
Energia słoneczna
-
Produkcja ogniw