DS 0700–2000 G
Suche śrubowe pompy próżniowe
Wysoka wydajność
Zaawansowana konstrukcja śruby, znakomita płynność pracy, zintegrowane wspomaganie próżniowe, doskonałe dostosowanie do chemicznego osadzania z fazy gazowej, szybkiego przetwarzania termicznego lub osadzania warstw atomowych
Wydajność
Niski koszt posiadania, minimalne wymagania w zakresie konserwacji, długie odstępy międzyserwisowe, wysoki czas pracy, wydajne pośrednie chłodzenie wodą, duża przepustowość wodoru
Kompaktowość
Dopasowana konstrukcja, bezpośrednio zamontowany silnik zespolony, pompa wspomagająca i wspomaganie próżniowe połączone na kompaktowej ramie podstawy
Dane techniczne
Rynki i zastosowania
Wyświetlacz
-
Fizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD)
Półprzewodnik
-
LPCVD / dyfuzja
-
Si Poly etch
-
PECVD
-
Wytrawianie metali i materiałów o wysokiej stałej dielektrycznej
-
ALD
Energia słoneczna
-
Produkcja ogniw
-
Wyciąganie prętów