Silencieux
Faibles niveaux sonores et de vibrations, convient parfaitement aux applications sensibles aux vibrations dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs et les instruments analytiques
Modulable
Compatible avec une grande variété de pompes primaires, version MT avec système de chauffage intégré pour les conditions chimiques exigeantes, moteurs à courant continu (CC) à variation de fréquence
Sans maintenance
Aucune pièce d’usure grâce à la technologie de palier magnétique, réduction de la contamination particulaire ou de l’accumulation de résidus dans la version MT
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Automobile et transport
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Recherche spatiale
Affichage
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Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Médical
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Imagerie de diagnostic
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Accélérateur médical
R&D
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Physique à haute énergie
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Recherche en photonique
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Recherche spatiale
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Ultravide
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Physique du plasma
Semi-conducteur
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LPCVD / Diffusion
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PVD
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Inspection et métrologie
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Si Poly etch
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Dépôt léger
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Implantation ionique
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PECVD
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Lithographie
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Métal et gravure haute K
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Attaque à l’oxyde
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Sas de chargement et transfert
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Cobalt, WCVD, TiN et TDMAT
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Dépôt en couches atomiques (ALD)
Revêtement à couche mince
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Revêtement du verre
Accessoires
- Kit d'installation
- Vanne d'eau de refroidissement
- Vanne de gaz de purge
- Télécommande portable
- Grille de protection d'entrée
- Unité de chauffage
- Câble de vanne et bobine
- Différents types de brides d’aspiration
- Différentes interfaces utilisateur
- Système de régulation thermique pour procédés corrosifs
- Système de refroidissement à air