ATH-M / ATP-M

La technologie de palier magnétique des séries ATH-M et ATP-M utilise l’électromagnétisme et un système de commande électronique élaboré pour maintenir le rotor en suspension et permettre la rotation sans contact physique avec le carter de pompe. Cela permet d'éliminer la friction, de prévenir l’usure et de faire en sorte que ces turbopompes ne nécessitent aucune maintenance.

La friction mécanique minimisée se traduit également par de faibles niveaux sonores et de vibrations. Les pompes turbomoléculaires ATH-M et ATP-M sont par conséquent idéales pour les applications sensibles aux vibrations dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs.

De plus, en cas de coupure d’électricité, les paliers magnétiques sont alimentés en électricité générée par l’énergie de rotation de la pompe. Cela permet de pallier facilement les coupures de courant pendant plusieurs minutes.

Les rotors de nos pompes à vide turbomoléculaires sont entraînés par des moteurs à courant continu (CC) à variation de fréquence. Ils peuvent réguler la vitesse de rotation du rotor pour l’adapter au niveau de vide souhaité, ce qui permet d’économiser de l’énergie et de réduire les coûts. Dans la dernière génération de pompes ATH-M et ATP-M, l’entraînement est intégré à la pompe, ce qui garantit son faible encombrement.

Certaines pompes turbomoléculaires ATH-M sont équipées d’un système de chauffage intégré qui permet de maintenir les performances de la pompe dans des conditions chimiques exigeantes. Cette caractéristique est particulièrement avantageuse dans les applications telles que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), où les réactions chimiques peuvent produire des sous-produits qui ont tendance à se condenser à l’intérieur du système de vide. Le chauffage intégré maintient la pompe à une température constamment élevée, ce qui réduit le risque de condensation et d’accumulation de résidus.