Silencieux
Faibles niveaux sonores et de vibrations, convient parfaitement aux applications sensibles aux vibrations dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs et les instruments analytiques
Modulable
Compatible avec une grande variété de pompes primaires, excellent taux de compression pour les gaz légers
Sans maintenance
Aucune pièce d’usure grâce à la technologie de palier magnétique, longs intervalles de maintenance
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Automobile et transport
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Recherche spatiale
Affichage
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Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
R&D
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Physique à haute énergie
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Recherche en photonique
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Recherche spatiale
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Ultravide
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Physique du plasma
Semi-conducteur
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LPCVD / Diffusion
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PVD
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Inspection et métrologie
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Si Poly etch
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Dépôt léger
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Implantation ionique
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PECVD
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Lithographie
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Métal et gravure haute K
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Attaque à l’oxyde
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Sas de chargement et transfert
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Cobalt, WCVD, TiN et TDMAT
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Dépôt en couches atomiques (ALD)