Température et flux élevés
Large plage de processus, haute résistance à la corrosion
Auto-diagnostic
Capteur intégré pour les diagnostics de performance, les optimisations de maintenance et les communications externes
Economique
Gestion optimisée de la température, faible puissance et consommation d’eau de refroidissement, faible coût de propriété
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Affichage
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Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Semi-conducteur
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LPCVD / Diffusion
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PVD
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Inspection et métrologie
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Si Poly etch
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Dépôt léger
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Implantation ionique
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PECVD
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Lithographie
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Métal et gravure haute K
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Attaque à l’oxyde
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Sas de chargement et transfert
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Cobalt, WCVD, TiN et TDMAT
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Dépôt en couches atomiques (ALD)
Revêtement à couche mince
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Revêtement optique
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Revêtement décoratif
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Revêtement de protection contre l'usure
Accessoires
- Vanne de purge de gaz d’étanchéité de protection
- Vanne d'eau de refroidissement
- Télécommande portable
- Filtre de protection pour bride d'aspiration
- Kit de montage
- Brides d’aspiration : VG350 ou VG400
- Brides d’échappement : DN40 ou DN50
- Différentes options de chauffage
- Purge intermédiaire supplémentaire pour les procédés difficiles
- Capteur de température du rotor
- Capteur de présence purge
- Puissance d'entrée : 200, 440 ou 480 V CA