Silencieux
Faibles niveaux sonores et de vibrations, convient parfaitement aux applications sensibles aux vibrations dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs et les instruments analytiques
Modulable
Compatible avec une grande variété de pompes primaires, version MT avec système de chauffage intégré pour les conditions chimiques exigeantes, consommation en eau de refroidissement la plus faible de sa catégorie
Sans maintenance
Aucune pièce d’usure grâce à la technologie de palier magnétique, réduction de la contamination particulaire ou de l’accumulation de résidus dans la version MT
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Automobile et transport
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Recherche spatiale
Affichage
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Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
R&D
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Recherche en photonique
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Recherche spatiale
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Ultravide
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Physique du plasma
Semi-conducteur
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LPCVD / Diffusion
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PVD
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Inspection et métrologie
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Si Poly etch
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Dépôt léger
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Implantation ionique
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PECVD
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Lithographie
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Métal et gravure haute K
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Attaque à l’oxyde
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Sas de chargement et transfert
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Cobalt, WCVD, TiN et TDMAT
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Dépôt en couches atomiques (ALD)
Solaire
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Fabrication de cellules
Revêtement à couche mince
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Revêtement optique
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Revêtement décoratif
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Revêtement du verre
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Revêtement de protection contre l'usure