Haute performance
Concept de vis perfectionné, structure en forme de cloche, vis auto-équilibrées brevetées, excellentes qualités de fonctionnement, parfaitement adaptée aux travaux en sas de chargement et en chambres de transfert ainsi qu'aux travaux de métrologie, de lithographie, de dépôt physique en phase vapeur et de recuit thermique rapide
Efficace
Variateur de vitesse intelligent, faible coût de possession, maintenance minimale, temps de fonctionnement élevé, refroidissement direct par eau
Compacte
Conception optimisée, moteur immergé à accouplement direct, tableau de commande intégré
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Semi-conducteur
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Décapage/Cendrage
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Si Poly etch
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Implantation ionique
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Attaque à l’oxyde
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Cobalt, WCVD, TiN et TDMAT