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Série de produits | Vitesse de pompage nominale |
|---|---|
COBRA BC | 100 m3/h – 1 580 m3/h |
COBRA DS | 70 m3/h – 6 000 m3/h |
Une pompe à vide sèche à vis offre des vitesses de pompage élevées et une génération de vide exempte de contamination. Ces avantages en font un composant essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs. Le principe de fonctionnement d’une pompe à vide sèche à vis peut être expliqué en trois étapes :
1. Admission :
Les pompes à vide sèches à vis de Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions sont utilisées dans les principales usines de semi-conducteurs. Leur principe de fonctionnement basé notre technologie à vis innovante les rend parfaits pour divers procédés industriels. Plusieurs caractéristiques et avantages clés sont les suivants :
1. Faibles exigences de maintenance : les pompes à vide à vis fonctionnent sans contact pendant la compression. Cela signifie que les rotors à vis ne se touchent pas et n’entrent pas en contact avec le boîtier de la pompe. Cela minimise l’usure et les besoins de maintenance, garantissant un temps de disponibilité élevé.
2. Fonctionnement sans huile : les pompes à vide sèches ne nécessitent aucun fluide de fonctionnement, tel que de l’huile, dans la chambre de compression. Une génération de vide propre est cruciale dans les applications de semi-conducteurs où la contamination doit être évitée afin de garantir une précision et une qualité des produits optimales.
3. Contrôle de la température : les pompes à vide sèches à vis sont équipées d’un système de refroidissement par eau efficace. Cette caractéristique permet une répartition uniforme de la température dans tout le corps de la pompe et empêche toute surchauffe. La chaleur de compression est répartie sur l’ensemble du corps de pompe et la stabilité thermique est ainsi garantie dans les procédés de fabrication des semi-conducteurs. Un avantage potentiel de cette stabilité est d’empêcher les gaz de procédé de se condenser à l’intérieur de la pompe à vide, réduisant de ce fait le risque de contamination.
4. Vitesse de pompage et débit élevés : les pompes à vide sèches à vis offrent d’excellentes qualités de fonctionnement ainsi que des vitesses de pompage et des débits élevés. Ces caractéristiques sont notamment requises pour diverses applications de semi-conducteurs comme les sas de chargement ou encore les procédés générant des particules, comme la gravure métallique.
5. Adaptabilité aux gaz agressifs : la fabrication de semi-conducteurs inclut des applications telles que la gravure. Ces procédés requièrent des gaz toxiques tels que le chlore. Les pompes à vide à vis peuvent traiter efficacement ces gaz grâce au moulage monobloc. Il évite les interstices et empêche ces gaz d’atteindre l’intérieur de la pompe. Par conséquent, toute corrosion est évitée.
6. Faible niveau sonore : grâce à leur conception à vis auto-équilibrante brevetée, ces pompes à vide garantissent un faible niveau de vibrations et un fonctionnement silencieux. Des niveaux sonores faibles sont essentiels pour les procédés sensibles impliqués dans la fabrication des semi-conducteurs.
Toutes ces caractéristiques font des pompes à vide sèches à vis telles que la série COBRA Semicon de Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions une solution fiable pour tous les types d’applications dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs. Elles offrent des performances de vide puissantes, économes en énergie et exemptes contamination.
Oui, les pompes à vide à vis sont hautement compatibles avec les systèmes de semi-conducteurs modernes. Elles sont conçues pour répondre aux exigences strictes des applications de semi-conducteurs, telles que la métrologie, la lithographie et le traitement de wafers.
Les pompes à vide à vis, comme la COBRA Semicon de Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, offrent une haute efficacité, une faible consommation d’énergie et une tolérance élevée aux vapeurs et aux particules. Tous ces avantages font des pompes à vide à vis la solution idéale pour les applications de semi-conducteurs. Leur compression sans huile garantit une génération de vide exempte contamination. Cet environnement propre est essentiel pour maintenir la pureté requise dans les usines de semi-conducteurs.
Plusieurs facteurs doivent être pris en compte lors du choix de la bonne solution de vide pour les applications de semi-conducteurs. Ces facteurs varient en fonction des procédés spécifiques impliqués, tels que la manutention des wafers, la CVD ou l’ALD.
Veuillez nous contacter pour discuter de la solution de vide la mieux adaptée à vos besoins. Nos experts sont là pour vous aider !
Pour d’autres applications industrielles, les pompes à vide à vis de Busch Solutions de Vide fournissent une génération de vide fiable et efficace. Rendez-vous sur Busch Solutions de Vide pour plus d’informations.
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