- Conception de vis avancée
- Principe de fonctionnement sec et sans contact
- Conception à « roulement flottant » unique
- Structure en porte-à-faux
- Conception compacte et optimisée
- Refroidissement direct par eau
- Protocole de communication entièrement ouvert
COBRA Semicon
Pompes à vide sèches à vis
Le principe de fonctionnement des pompes à vide COBRA Semicon est basé sur notre technologie de vis à la pointe de la technologie. Avec leurs vis auto-équilibrantes brevetées, elles établissent de nouvelles normes en matière d’efficacité et de fiabilité pour la fabrication de semi-conducteurs.
Les pompes à vide COBRA Semicon allient des débits élevés à une grande tolérance à la vapeur et aux particules. Les mélanges chargés de particules peuvent donc être évacués sans aucun problème. Le principe de fonctionnement sans huile et sans contact est synonyme de faibles exigences de maintenance, de coûts d'exploitation réduits et de longue durée de vie.
Découvrez notre série COBRA Semicon
COBRA BC
La solution idéale pour les applications de semi-conducteurs légers à moyens
Avantages de la série COBRA BC
Les pompes à vide sèches à vis COBRA BC conviennent parfaitement aux tâches de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les sas de chargement et les chambres de transfert. D'autres applications incluent la métrologie, la lithographie, le dépôt physique en phase vapeur (PVD), le recuit thermique rapide (RTA) et la gravure du silicium.
La conception de vis auto-équilibrante brevetée assure les niveaux de vibration les plus bas et un fonctionnement silencieux.
Les rotors à vis des pompes à vide COBRA BC sont fabriqués à partir d'une seule pièce de fonderie, ce qui évite tout interstice. Toute pénétration de fluides ou de particules liés au processus est alors impossible. La corrosion et les dépôts sont ainsi évités.
Les pompes à vide COBRA BC présentent une conception en porte-à-faux basée sur une structure en forme de cloche : le double rotor doté de vis à pas variable est monté uniquement côté moteur. Grâce à la conception unique à « roulement flottant », les roulements d'entrée sont inutiles. Par conséquent, le mélange pompé n'entre pas en contact avec les roulements. Cela garantit une génération de vide propre et permet de récupérer intégralement le mélange pompé.
Les pompes à vide de la série COBRA BC utilisent un refroidissement par eau direct efficace. Il permet d'obtenir une répartition uniforme de la température dans l'ensemble du corps de pompe. De plus, la stabilité thermique est garantie durant le processus.
Le protocole de communication entièrement ouvert (Modbus TCP-IP) permet de contrôler toutes les fonctionnalités. Les modes veille et le variateur de vitesse sont notamment inclus. Le protocole de communication peut s'adapter facilement à un protocole réseau spécifique à l'aide de composants d'interface standard.
Grâce à son moteur encapsulé à accouplement direct, la gamme de pompes COBRA BC affiche des dimensions extrêmement compactes. Grâce à leur conception « fit-in-place », elles peuvent être aisément et rapidement montées ultérieurement sur les systèmes existants.
COBRA DS
La nouvelle génération de pompes à vide sèches pour les processus de semi-conducteurs exigeants
- Conception de vis avancée
- Principe de fonctionnement sec et sans contact
- Excellente manutention des poudres
- Refroidissement indirect efficace par eau
- Conception compacte et optimisée
- Vitesse de pompage élevée pour le déchargement de l'hydrogène
- Moteur à haute efficacité
- Différentes tailles de pompes avec booster de vide intégré
Avantages de la série COBRA DS
Les pompes à vide sèches à vis COBRA DS sont les générateurs de vide idéaux pour les applications de semi-conducteurs exigeantes, en particulier lorsqu’un débit d’hydrogène élevé est requis. Elles conviennent donc parfaitement pour le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le recuit thermique rapide (RTP) ou le dépôt par couche atomique (ALD).
Les différentes dimensions de la série COBRA DS présentent un booster de vide haute performance intégré. Cette combinaison de pompe primaire et de booster de vide permet d'atteindre des vitesses de pompage et des pressions limites accrues.
La conception à vis auto-équilibrante de la pompe à vide est une innovation brevetée. Cette caractéristique garantit une excellente manutention des poudres et un temps de disponibilité élevé.
Les rotors à vis des pompes à vide COBRA DS sont fabriqués à partir d'une seule pièce de fonderie, ce qui évite tout interstice. Toute pénétration de fluides ou de particules liés au processus est alors impossible. La corrosion et les dépôts sont ainsi évités.
Les pompes à vide de la série COBRA DS utilisent un refroidissement par eau indirect efficace. Ce dernier permet de contrôler la distribution de la température dans l'ensemble du corps de pompe. Il est donc possible de réagir à tout moment aux variations du processus.
Grâce à leur conception « fit-in-place », les pompes COBRA DS peuvent être aisément et rapidement montées ultérieurement sur les systèmes existants.
