Haute performance
Concept de vis perfectionné, excellentes qualités de fonctionnement, booster de vide intégré, excellentes capacités de manutention des poudres, parfaitement adapté aux applications de semi-conducteurs, à la production d'écrans plats et aux applications en lien avec l'énergie solaire
Efficace
Faible coût de possession, maintenance minimale, intervalles de maintenance étendus, temps de fonctionnement élevé, refroidissement indirect par eau efficace, débit d'hydrogène élevé, contrôle de température variable, faible niveau de vibration
Compacte
Conception optimisée, moteur immergé à accouplement direct, panneau de commande intégré, pompe primaire et pompe booster combinées sur un châssis compact
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Semi-conducteur
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LPCVD / Diffusion
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Si Poly etch
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PECVD
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Métal et gravure haute K
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Dépôt en couches atomiques (ALD)
Solaire
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Fabrication de cellules
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Extraction du lingot