Fiable
Technologie de roulement hybride de pointe, lubrification supérieure des roulements pour une longue durée de vie
Haute performance
Géométrie de rotor optimisée, manutention améliorée des charges de gaz
Débit de gaz élevé
Vitesse de pompage élevée, compatible avec une grande variété de pompes primaires, compression élevée pour les gaz légers
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Automobile et transport
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Recherche spatiale
Médical
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Imagerie de diagnostic
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Accélérateur médical
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Spectromètre de masse
Production d’électricité
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Production d’énergie verte
R&D
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Recherche spatiale
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Ultravide
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Spectrométrie de masse
Instruments scientifiques
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Spectrométrie de masse
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Analyse de surface
Semi-conducteur
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LPCVD / Diffusion
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Décapage/Cendrage
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PVD
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Inspection et métrologie
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Si Poly etch
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Dépôt léger
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Implantation ionique
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PECVD
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Lithographie
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Métal et gravure haute K
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Attaque à l’oxyde
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Sas de chargement et transfert
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Dépôt en couches atomiques (ALD)
Gaz techniques
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Mise en bouteille
Accessoires
- Adaptateur électrique
- Câble secteur
- Câble de raccordement
- Différents systèmes MODE bus
- Kit d’alimentation électrique et unité d’affichage
- Kit de montage
- Soupape de sûreté
- Accessoires de mise à l'air
- Unité de mise à l’air en cas de coupure d'électricité
- Amortisseur de vibrations