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HiPace

Pompes à vide turbomoléculaires

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Les pompes à vide turbomoléculaires HiPace sont des solutions compactes et puissantes pour les applications de vide poussé et d'ultravide.

Les systèmes à paliers magnétiques ou hybridesutilisés dans les pompes à vide turbomoléculaires HiPace garantissent de faibles niveaux sonores et de vibrations. De plus, des versions spéciales HiPace sont disponibles pour la compression de gaz légers comme l’hydrogène ou avec un revêtement résistant à la corrosion. La large gamme de versions dédiées fait des pompes HiPace la solution idéale pour les applications de revêtement, de fabrication de semi-conducteurs et de procédés analytiques.

HiPace

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Pompes turbomoléculaires robustes et durables pour les applications de vide poussé

  • Cycle de fonctionnement rapide
  • Construction compacte et légère
  • Faibles niveaux sonores et de vibrations
  • Maintenance minimale
  • Disponible avec revêtement spécial pour les applications corrosives

Avantages de la série HiPace

La conception innovante du rotor des pompes turbomoléculaires HiPace permet des vitesses de pompage élevées et des débits de gaz élevés. Ces pompes à vide sont disponibles avec des paliers hybrides ou magnétiques.

Les modèles à paliers hybrides combinent un roulement à billes en céramique côté vide primaire et un palier magnétique permanent côté vide poussé, garantissant une configuration robuste et fiable. Dans les versions à palier magnétique, les paliers magnétiques actifs utilisent des électroaimants et des capteurs de distance pour maintenir le rotor suspendu et en rotation sans contact physique, minimisant ainsi l’usure.

Les deux types de paliers sont conçus pour une durabilité et une maintenance réduite afin de garantir la fiabilité des performances de la pompe. Pour les versions hybrides, le remplacement sur site des roulements à billes en céramique et du réservoir de fluide de fonctionnement peut être effectué en moins de 30 minutes, ce qui réduit les temps d’arrêt et maximise la productivité.

La série HiPace se compose d’une large gamme de modèles répondant à diverses exigences d’application, y compris la plus petite pompe turbomoléculaire du marché : la HiPace 10 Neo. Elle est dotée d’un système de roulement mécanique avec des roulements à billes en céramique lubrifiés à l’huile, garantissant un fonctionnement fiable même lorsqu’elle est exposée à des vibration ou à des mouvements rapides. Grâce à son faible encombrement, elle est idéale pour les instruments analytiques hautement intégrés, tels que ceux utilisés dans la spectrométrie de masse, la microscopie électronique ou les systèmes portables.

Les versions spécialisées permettent d'adapter le modèle HiPace à diverses exigences de procédé. Par exemple, elles sont équipées d’une interconnexion innovante d’étages Holweck offrant une compression exceptionnelle de gaz très légers tels que l’hydrogène, ce qui est essentiel dans les procédés nécessitant un ultravide ou dans les applications scientifiques. D’autres modèles sont équipés de rotors revêtus de Kepla – un traitement de surface chimique au plasma – qui offre une meilleure résistance à la corrosion pour les environnements difficiles dans la fabrication de revêtements et de semi-conducteurs.

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