Fiable
Sans hydrocarbures, étalonnage automatique du capteur pendant le fonctionnement
Silencieux
Faibles niveaux de bruit et de vibrations
Sans maintenance
Suspension électromagnétique protégeant le rotor contre l’usure prématurée, compensation continue du déséquilibre du rotor
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Automobile et transport
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Recherche spatiale
Industrie chimique
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Vide de laboratoire
Médical
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Vide de laboratoire
Industrie pharmaceutique et biotechnologique
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Vide de laboratoire
R&D
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Recherche en photonique
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Recherche spatiale
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Ultravide
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Vide de laboratoire
Semi-conducteur
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LPCVD / Diffusion
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Décapage/Cendrage
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PVD
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Inspection et métrologie
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Si Poly etch
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Dépôt léger
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Implantation ionique
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PECVD
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Lithographie
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Métal et gravure haute K
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Attaque à l’oxyde
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Sas de chargement et transfert
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Dépôt en couches atomiques (ALD)