Fiable
Meilleure technologie de roulement hybride de sa catégorie, longue durée de vie, disponibilité maximale
Facilité de maintenance
Remplacement des roulements sur site, insensible à la poussière de procédé
Haute performance
Conception spéciale pour les procédés de revêtement, concept rotor/stator optimisé
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Semi-conducteur
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LPCVD / Diffusion
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Décapage/Cendrage
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PVD
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Inspection et métrologie
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Si Poly etch
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Dépôt léger
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Implantation ionique
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PECVD
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Lithographie
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Métal et gravure haute K
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Attaque à l’oxyde
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Sas de chargement et transfert
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Dépôt en couches atomiques (ALD)