Fiable
Technologie de roulement hybride de pointe, lubrification supérieure des roulements pour une longue durée de vie
Débit de gaz élevé
Vitesse de pompage élevée, compatible avec une grande variété de pompes primaires, compression élevée pour les gaz légers
Haute performance
Géométrie de rotor optimisée, manutention améliorée des charges de gaz
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
Automobile et transport
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Traitement thermique
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Détection de fuite et test EOL
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Recherche spatiale
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Soudage par faisceau E
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Impression 3D
Batterie
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Détection de fuite et test EOL (maître)
Industrie chimique
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Vide de laboratoire
Économie d’hydrogène
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Détection de fuite et test EOL (maître)
Médical
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Imagerie de diagnostic
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Vide de laboratoire
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Accélérateur médical
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Spectromètre de masse
Métallurgie
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Soudage par faisceau E
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Brasage sous vide
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Impression 3D
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Traitement thermique
Industrie pharmaceutique et biotechnologique
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Vide de laboratoire
Production d’électricité
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Production d’énergie verte
R&D
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Physique à haute énergie
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Recherche spatiale
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Ultravide
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Physique du plasma
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Vide de laboratoire
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Spectrométrie de masse
Réfrigération et climatisation
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Détection de fuite et test EOL
Instruments scientifiques
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Spectrométrie de masse
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Analyse de surface
Semi-conducteur
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LPCVD / Diffusion
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Décapage/Cendrage
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PVD
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Inspection et métrologie
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Si Poly etch
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Dépôt léger
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Implantation ionique
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PECVD
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Lithographie
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Métal et gravure haute K
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Attaque à l’oxyde
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Sas de chargement et transfert
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Dépôt en couches atomiques (ALD)
Gaz techniques
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Mise en bouteille
Revêtement à couche mince
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Revêtement de laboratoire